MEMS開発に向けたプロセス技術、今後の展望【Live配信セミナー】

セミナープログラム

＜１０：３０〜１５：００＞

ＭＥＭＳ技術とそのプロセス
東北大学　江刺 正喜 氏

【講演ポイント】
MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)は、半導体技術を発展させてSiウェハ上に回路だけでなくセンサや構造体あるいはアクチュエータなど多様なものを形成し、小形で高度な機能を持つ高付加価値の部品を実現する技術です。
スマホなどの部品のように大量に安価に供給されるものから、Siウェハ上でのテストに用いるプローブカードのように生産や試験に用いられるものまで多様です。
一般に多品種少量で開発がボトルネックになりますが、毎年12%程の一定の割合で売り上げが伸びてきました。
この技術では開発がボトルネックになりますので、幅広い知識や実際の試作経験などが大切です。
このようなMEMSのこれからの開発に役立てて頂きたいと思います。

1. 自動車・スマートホンなどで使われる(量産)MEMS
2. IT機器、 バイオ・医療・健康などで使われる(量産・高付加価値)MEMS
3. インフラ･安全・環境、製造･検査などで使われる(高付加価値)MEMS
4. 基本プロセス1 (パターニング、エッチング)
5. 基本プロセス2 (堆積と応力制御、接合)
6. 組合せプロセス1 (バルクマイクロマシニング、表面マイクロマシニング、ナノマシニング 他)
7. 組合せプロセス2 (ウェハ転写とヘテロ集積化、電気的接続、パッケージングと真空封止)
8. ダイシング、テスト・評価、MEMS材料の機械特性、共振子、光MEMS、失敗例 他
9. MEMSの要素 (センサ、アクチュエータ、エネルギ源)
10. MEMSのトレンドとLSIへの拡がり、設備共用、知識提供と連携 他

【質疑応答】

＜１５：１０〜１６：３０＞

MEMS/NEMSの最近の応用事例について
早稲田大学　水野 潤 氏

【講演概要】

我々はナノ・マイクロデバイス科学の構築に向けて、現在

• MEMS
• ナノ・マイクロ加工
• 3次元実装技術
• 表面処理技術
• フレキシブルプリンテッドエレクトロニクス

の５つの要素技術研究を行っている。

本講演ではこの５つの要素技術の紹介と、それらを用いた幾つかの応用領域である、

• マイクロ流路付き有機EL
• 3次元エレクトロニクス実装
• 先端材料
• バイオ・医療デバイス

の研究について紹介する。

【質疑応答】

セミナー講師

1. 東北大学　マイクロシステム融合研究開発センター(μSIC) シニアリサーチフェロー 工学博士　江刺 正喜 氏
2. 早稲田大学　ナノライフ創新研究機構　研究院　教授　博士（工学） 水野 潤 氏

セミナー受講料

1名につき55,000円（税込・資料付）
〔1社2名以上同時申込の場合1名につき49,500円（税込）〕

受講について

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