MEMS技術入門講座：基礎から応用技術・最新動向まで

セミナー趣旨

　半導体集積回路は多数のトランジスタで高度な情報処理を行うことができますが、センサやアクチュエータなどの異なる要素を融合することでさらに高度な機能を持たせることができます。このMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)は、システムの鍵を握る要素として使われ付加価値は高いのですが、多様で品種ごとに異なるため開発には多様な知識や試作設備へのアクセスなどのオープンコラボレーションが不可欠になります。
　本講義では、MEMSがどのように使われているか、またその製作のためのプロセス、要素技術やコラボレーションのありかたなどについて解説します。

受講対象・レベル

半導体微細加工、微小電気機械システム(MEMS)、センサなどに興味をお持ちの方

必要な予備知識

特に予備知識は必要ありません。基礎から応用まで解説いたします

習得できる知識

設計や製作の基礎から応用まで

セミナープログラム

1．MEMSの使われ方
　1-1.  概論
　1-2.  自動車・スマートホンなどで使われる(量産)MEMS
　1-3.  IT機器、 バイオ・医療・健康などで使われる(量産・高付加価値)MEMS
　1-4.  インフラ・安全・環境、製造・検査などで使われる(高付加価値)MEMS

2. 基本プロセス
　2-1.  基本プロセス1 (パターニング、エッチング)
　2-2.  基本プロセス2 (堆積と応力制御、接合) 

3. 組合せプロセス
　3-1.  組合せプロセス1 (バルクマイクロマシニング、表面マイクロマシニング、ナノマシニング)
　3-2.  組合せプロセス2 (ウェハ転写とヘテロ集積化、電気的接続、パッケージングと真空封止)

4. MEMS関連技術、MEMSの要素、MEMSの拡がりとコラボレーション
　4-1.  ダイシング、各種プロセス、テスト・評価、MEMS材料の機械特性、共振子、光MEMS、失敗物語
　4-2.  MEMSの要素 (センサ、アクチュエータ、エネルギ源)
　4-3.  MEMSのトレンドとLSIへの拡がり、設備共用、知識提供と連携 他

キーワード：
MEMS,センサ,AI,機械学習,講演,セミナー,研修

セミナー講師

東北大学　マイクロシステム融合研究開発センター（µSIC）　センター長・教授
半導体クリエイティビティハブ（S-Hub）　ハブ長　博士（工学）
戸津　健太郎　氏

【略歴】
2010年からは東北大学試作コインランドリの長として半導体微細加工共用施設の運営を行っている。2020年から産学官連携組織であるMEMSパークコンソーシアム代表を務め、MEMSの産業化支援にも取り組んでいる。2022年より文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）高度デバイス領域代表・東北大ハブ長、東北大学ナノテク融合技術支援センター長として、設備とデータの共用事業に取り組んでいる。2024年より技術研究組合最先端半導体技術センター（LSTC）を兼業し、人材育成検討委員会のうち大学・地域・産業連携WGの座長を務め、全国規模での半導体人財育成を推進している。また、2024年からは東北大学半導体クリエイティビティハブ（S-Hub）のハブ長として、学内外の学生、社会人向けの半導体教育プログラムも統括している。

セミナー受講料

55,000円（税込、資料付）
■ 会員（案内）登録していただいた場合、通常1名様申込で55,000円（税込）から
　★1名で申込の場合、49,500円（税込）へ割引になります。
　★2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計55,000円（2人目無料）です。

※LIVE配信とアーカイブ配信（見逃し配信）両方の視聴を希望される場合
　お一人様につき、追加料金11,000円（税込）にてお申込みいただけます。
　メッセージ欄に「LIVEとアーカイブ両方視聴」と明記してください。


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