MEMS技術入門－基礎・各工程から様々な分野への応用・トレンドまで－

セミナー趣旨

  社会の様々な場面で利用されているマイクロセンサをはじめとするMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）について、実用化の歴史、コア技術である半導体微細加工、デバイスの応用例などを幅広く紹介します。

受講対象・レベル

・MEMSをはじめとするデバイスの研究開発を行っている方、さらにこれから行うとされている方。
・MEMSを応用したシステム等を検討されている方。
・半導体微細加工技術に興味のある方。

必要な予備知識

この分野に興味のある方なら、特に予備知識は必要ありませんが、加工技術については、高専や大学卒程度の化学、物理の知識があると、より深く理解できると思います。

習得できる知識

・MEMSの歴史
・MEMSデバイス設計、製造の勘所
・MEMSデバイスの将来性
など

セミナープログラム

１．概論
　1）MEMSとは
　2）MEMSの製品、応用例
２．フォトリソグラフィ
　1）フォトレジストと塗布
　2）露光
　3）グレイスケールリソグラフィ
　4）インプリント
３．エッチング
　1）ウェットエッチング
　2）CMP、ダマシン
　3）ドライエッチング
４．成膜
　1）酸化
　2）スパッタリング、蒸着、メタライズ
　3）CVD、ALD
　4）めっき
　5）応力
５．接合
　1）陽極接合
　2）直接接合、活性化接合、洗浄
　3）金属接合
　4）ウェハ仮接合、ポリマー接合
６．複合プロセス、表面マイクロマシニング
　1）エピシール
　2）表面マイクロマシニング、付着防止
　3）エピタキシャルポリシリコン
７．集積化
　1）CMOS-MEMS集積化
　2）ヘテロ集積化
８．パッケージング
　1）貫通配線、フィードスルー
　2）ウェハレベルパッケージング
　3）気密封止、真空封止
　4）ダイシング
９．評価
　1）計測技術
　2）材料物性
10．試作環境
　1）共用設備の活用
　2）東北大学をはじめとする全国の取組紹介
＜質疑応答＞

＊途中、小休憩を挟みます。

セミナー講師

 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター センター長・教授　 戸津 健太郎 氏

■ご略歴
2004年に東北大学大学院工学研究科機械電子工学専攻博士課程修了後、
引き続き同大学において半導体微細加工プロセスに関する研究教育、産学連携に従事。
2021年より東北大学マイクロシステム融合研究開発センター長・教授。
2010年からは東北大学試作コインランドリの長として半導体微細加工共用施設を運営。
2022年より文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)高度デバイス領域代表・東北大ハブ長として、
半導体を中心とした開発を支援している。
2024年より技術研究組合最先端半導体技術センター(LSTC)を兼業し、人材育成分野の大学・地域・産業連携WGの座長を務めている。
また、2024年からは東北大学半導体クリエイティビティハブ(S-Hub)のハブ長として、
学内外の学生、社会人向けの半導体教育プログラムも統括している。

セミナー受講料

【オンライン受講（見逃し視聴なし）】：1名 46,200円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき35,200円

【オンライン受講（見逃し視聴あり）】：1名 51,700円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき40,700円

＊学校法人割引：学生、教員のご参加は受講料50％割引。

受講について

• 配布資料はPDF等のデータで送付予定です。受取方法はメールでご案内致します。
  （開催1週前～前日までには送付致します）
  ※準備の都合上、開催1営業日前の12:00までにお申し込みをお願い致します。
  （土、日、祝日は営業日としてカウント致しません。）
• 受講にあたってこちらをご確認の上、お申し込みください。
• Zoomを使用したオンラインセミナーです
  →環境の確認についてこちらからご確認ください
• 申込み時に（見逃し視聴有り）を選択された方は、見逃し視聴が可能です
  →こちらをご確認ください