原子間力顕微鏡(AFM)の基本原理、測定とデータの取得・解析方法


AFMで「出来ること」「わかること」と解析・測定実務に活用するために

■ AFMの基礎と基本原理
■ AFMを使用する上でのノウハウ
■ AFMを用いた材料および表面科学の手法


★ 試料表面の諸性質(硬さ、導電性、帯電性、加工、相互作用力、付着性など)、微粒子やレジストパターンなどの微小固体の諸性質(付着性、マニピュレーション、帯電性)、特殊測定(液滴形状、ナノバブル観察)・・・・
★ 形状観察のにとどまらないで幅広い解析が効果的に行えるAFMを使いこなすために!



講師


長岡技術科学大学 電気電子情報工学専攻 電子デバイス・フォトニクス工学講座
教授 博士(工学) 河合 晃 氏

アドヒージョン(株)(研究成果活用企業(大学ベンチャー))代表取締役兼務

【専門】 コーティング、表面界面
【略歴】
 三菱電機(株)LSI研究所にて10年間勤務し、開発・試作・量産移管・工場管理の業務に従事。半導体デバイスの高精度な表面処理技術開発を実施した。
 その後、長岡技術科学大学にて勤務し、濡れ性制御、機能性薄膜、表面界面制御、ナノデバイスなどの先端分野の研究を実施。
著作:著書31件、原著論文162報、特許122件、総説63報、招待講演12件、国際学会120件、国内学会212件
所属学会:日本接着学会・評議員、応用物理学会、日本物理学会など。
NEDO技術委員、各種論文査読委員、日本接着学会評議員などを歴任。


受講料


48,600円 ( S&T会員受講料 46,170円 )
(まだS&T会員未登録の方は、申込みフォームの通信欄に「会員登録情報希望」と記入してください。詳しい情報を送付します。ご登録いただくと、今回から会員受講料が適用可能です。)


【2名同時申込みで1名分無料キャンペーン! (1名あたり定価半額の24,300円)】
※2名様ともS&T会員登録をしていただいた場合に限ります。
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、上記1名あたりの金額で追加受講できます。
※受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
※請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
 (申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。)
※他の割引は併用できません。


趣旨


 「ナノテクノロジーの目」とも言われているAFM(原子間力顕微鏡)は、SEMなどと同様に一般化しつつあり、また小型で安価なことから企業の基礎開発部門に多く導入されるようになってきました。AFMを用いれば、試料表面の諸性質(硬さ、導電性、帯電性、加工、相互作用力、付着性など)、微粒子やレジストパターンなどの微小固体の諸性質(付着性、マニピュレーション、帯電性)、特殊測定(液滴形状、ナノバブル観察)など、幅広い解析が効果的に行えます。
 しかしながら、実際にAFM測定を行う場合、基本原理や測定方法、そして解析方法などの基礎を習得する必要があり、現状では形状観察程度の利用に留まっているケースが多く見受けられます。
 本セミナーでは、汎用性の高い大気中および液中測定用のAFMを中心に豊富なデータに基づき解説します。これからAFMの導入を検討される方、初めてAFMを操作される方にも分かりやすく装置の基本原理や操作方法、データの取得や解析方法についてまで解説します。また、日頃のトラブル対策や技術開発相談にも対応します。


プログラム


1.(基礎編)AFMの適切な利用法
 ~原理・基礎知識から測定・解析上の留意点まで~
 ・AFMでできること・できないこと
  ~電子顕微鏡ではわからなくてもAFMでわかること~
 ・AFMの基礎・原理
  ~AFMの基本構成・動作モード等~
 ・表面像の取得方法
  ~得られた像は、実像なのか?~
 ・原子分解能の機構
  ~表面粗さ計と何が違うのか~
 ・ナノスケールの寸法校正
  ~原子配列の観察~
 ・カンチレバーと探針の特徴
  ~どのようにして選ぶのか~
 ・探針のメンテナンス方法
  ~汚染と摩耗~
 ・原子間の相互作用力とは
  ~ポテンシャル曲線~
 ・フォースカーブの理解
  ~針と試料表面との接触~
 ・AFM測定の誤差要因
  ~精度の高い測定のために~
 ・液中での測定方法
  ~簡単なバージョンアップ~

2.(応用編)AFMの有効な活用法
 ~様々な活用展開と分析・評価ノウハウ~
 ・表面エネルギーの測定
  ~表面処理との相関~
 ・表面吸着性の解析
  ~表面の経時変化
 ・薄膜及び微細パターンの付着性解析
  ~DPAT法~
 ・微細パターンの繰り返し疲労特性
  ~DPAT法~
 ・未知の表面間の付着力推定
  ~二乗平均則~
 ・微粒子の付着性/除去特性
  ~クリーンネス・印刷~
 ・ナノペーストの凝集性
  ~焼成時の粒成長~
 ・微粒子の核成長と平坦性
  ~核生成理論~
 ・薄膜の結晶成長
  ~他の薄膜との相互作用~
 ・固体表面の粘弾性測定
  ~柔らかいものの測定法~
 ・微小固体のヤング率測定
  ~微細パターンの構造解析~
 ・固体表面の硬さ測定
  ~薄膜の硬さや摩擦特性、表面硬化層の解析~
 ・固体表面の帯電制御
  ~帯電分布と除電性~
 ・微小液滴およびナノバブル観察
  ~識別方法~
 ・微小固体のナノマニピュレーション
  ~移動・加工と凝集性解析~

(質疑応答)
 ・日頃の技術開発・トラブルの個別相談に応じます


月刊ビッグライフ21 BigLife21 私たちは全国420万中小企業の代弁者です。
エンジニアのための役立つ情報サイト