専門家「大薗 剣吾」プロフィール
スパッタリング薄膜プロセス技術者にとって必要なこととは
半導体、電子デバイス、機能フィルム、金型、工具・・、薄膜プロセスを扱う技術開発チームのリーダーの皆様、自社の社員を、課題解決力のある薄膜のエキスパートに...
半導体、電子デバイス、機能フィルム、金型、工具・・、薄膜プロセスを扱う技術開発チームのリーダーの皆様、自社の社員を、課題解決力のある薄膜のエキスパートに...
薄膜、コーティング層の物性改善で最も大切なポイントとは
1. 薄膜、コーティング層の物性改善:膜に求められる物性とは 薄膜や、コーティングの技術では、図1のように膜の物性が重要な機能として求められます。...
1. 薄膜、コーティング層の物性改善:膜に求められる物性とは 薄膜や、コーティングの技術では、図1のように膜の物性が重要な機能として求められます。...
スパッタ膜の特徴 スパッタリングの原理・応用（その2）
前回のその1に続いて解説します。 3．スパッタ膜の特徴 表2のように、スパッタリングでつくられる膜には、様々な特徴があります。緻密...
前回のその1に続いて解説します。 3．スパッタ膜の特徴 表2のように、スパッタリングでつくられる膜には、様々な特徴があります。緻密...
スパッタリング技術とは スパッタリングの原理・応用（その1）
1.スパッタリング技術とは スパッタリング（スパッタ）は、図1のように、コーティング技術の分類では薄膜形成に用いられる物理的気相成長法（PVD）の一種...
1.スパッタリング技術とは スパッタリング（スパッタ）は、図1のように、コーティング技術の分類では薄膜形成に用いられる物理的気相成長法（PVD）の一種...
