プラズマエッチングにおけるパーティクル・プロセス異常の検出技術と対策

異常放電検出　部材の腐食・プラズマ耐性評価　パーティクルの発生と検出 など
不良発生の抑止、予知保全、メンテナンス費用削減、装置機差低減へ

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

日時 

【Live配信】2025年11月19日（水）  13:00～17:00
【アーカイブ配信】11月20日(木)PM～11月27日(木)

アーカイブ(見逃し)配信について
※アーカイブは原則として編集は行いません
※視聴準備が整い次第、担当から視聴開始のメールご連絡をいたします。
(開催終了後にマイページでご案内するZoomの録画視聴用リンクからご視聴いただきます）

【項目】※クリックするとその項目に飛ぶことができます

    セミナー趣旨

    原因不明の歩留まり低下、突発的なパーティクル異常、頻発する装置トラブルなど、量産ラインの収益性をも左右する現場課題にアプローチ！
    プラズマエッチングにおけるパーティクル対策、プロセス異常モニタリング、耐食性部材の評価技術を中心にトラブル原因の可視化と未然防止につなげる視点を提供します。
     
    　現在、半導体はもはや産業上の一部品としてではなく、経済安全保障に関わる極めて重要な「特定重要物資」として扱われています。半導体製造技術の最先端では2nm、更にはより以細な製造技術の研究開発も進められています。その一方、国内半導体産業の特長の一つは、車載用マイコンやパワーデバイスを始めとして最先端の微細製造技術を必ずしも必要としない半導体デバイスに競争力を有することです。本セミナーでは、後者の製造を多く担う、いわゆるレガシーファブの量産ラインの前工程において装置稼働率や歩留まりの向上に必要となる製造技術について扱います。前工程の中でも特に収益性に関わりが大きいプラズマプロセスであるプラズマエッチングプロセス及び装置に必要となる技術について、不良発生の抑止や予知保全、メンテナンス費用削減、装置機差の低減等に資する技術について紹介、解説します。

    受講対象・レベル

    半導体製造工程におけるプラズマプロセスに携わっている方など、本テーマに興味のある方ならどなたでも受講可能です。

    習得できる知識

    プラズマエッチングプロセスにおける異常検出やプロセスモニタリング手法について知識を習得出来ます。
    ・パーティクルのその場検出手法
    ・異常放電のその場検出手法
    ・プロセスチャンバー状態診断手法
    ・プラズマプロセス装置チャンバー内部品部材のプラズマ耐性評価　など

    セミナープログラム

    １．はじめに
    　1.1 半導体業界の動向
    　1.2 半導体製造工程
    　1.3 プラズマエッチングプロセス
    　1.4 量産ラインにおけるパーティクル

    ２．プラズマエッチングプロセスにおけるパーティクル課題
    　2.1 パーティクル対策の必要性
    　2.2 パーティクルのその場検出手法
    　2.3 パーティクルの発生メカニズム

    ３．プラズマプロセスにおける異常モニタリング・検出技術
    　3.1 プロセス異常モニタリングの必要性
    　3.2 異常放電検出手法
    　3.3 プロセスモニタリング・異常検出技術

    ４．プラズマ耐性材料とその評価技術
    　4.1 プロセスチャンバー用部品部材の腐食とパーティクル発生
    　4.2 高プラズマ耐性材料へのニーズ
    　4.3 部品部材のプラズマ耐性評価手法～セラミックス部材を例として

    　　□質疑応答□
     
    【キーワード】
    半導体製造前工程、プラズマプロセス、プラズマエッチング、設備総合効率、歩留まり、異常検知、パーティクル、異常放電

    セミナー講師

    (国研)産業技術総合研究所 先端半導体研究センター CMOSインテグレーション研究チーム 博士(工学)　笠嶋 悠司 氏

    【専門】高電圧工学、プラズマ理工学
    【略歴】
    2010年独立行政法人産業技術総合研究所入所 (2015年4月の法改正に伴い現名称は国立研究開発法人産業技術総合研究所) 弊所入所以来、九州センターにおいて半導体量産ラインにおける製造効率向上に資するモニタリング手法の研究開発に取り組んでおります。具体的には、プラズマエッチング工程におけるパーティクル検出や異常放電検知など、量産現場で発生しているプロセス異常のその場検出手法やプロセス装置の状態モニタリング技術の研究開発を進めております。

    セミナー受講料

    49,500円 ( E-Mail案内登録価格 46,970円 )
    　定価：本体45,000円＋税4,500円
    　E-Mail案内登録価格：本体42,700円＋税4,270円
    ◆S&T会員登録とE-Mail案内登録特典について◆

    【E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料】
    2名で49,500円 (2名ともE-mail案内登録必須​／1名あたり定価半額の24,750円)
    〈1名分無料適用条件〉
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    ※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
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    テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】
    1名申込みの場合：受講料 39,600円(E-Mail案内登録価格 37,840円)
    　定価：本体36,000円＋税3,600円
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    受講について

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    ＜配布資料＞
    PDFテキスト(印刷可・編集不可)
    ※開催2日前を目安にマイページよりダウンロード可となります。

    ※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
    ※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。


     

    受講料

    49,500円（税込）/人

    ※セミナーに申し込むにはものづくりドットコム会員登録が必要です

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    13:00 ～

    受講料

    49,500円（税込）/人

    ※本文中に提示された主催者の割引は申込後に適用されます

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    開催場所

    全国

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    キーワード

    プラズマ技術   半導体技術   電子デバイス・部品
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