走査電子顕微鏡（SEM）の基礎と最適な観察条件の設定方法および像障害の回避法

セミナー趣旨

　SEMは1965年に製品化されてから性能・機能および操作性が飛躍的に向上した。また、近年では自動機能も充実しており、SEMの初心者でもストレスなく操作ができることから、多くのユーザーが研究開発や品質管理のツールとして利用している。しかし、多くのユーザーは、観察目的に応じて観察条件を変更する作業を実施していないのが現状である。
　今回は、最終的にSEMを用いた解析が正しく実施できるために、試料の特性や観察目的に応じた、観察条件の設定方法や試料前処理について解説する。

受講対象・レベル

SEMのユーザー全般。SEM初心者から中級者向けの講座とする。

習得できる知識

SEMの原理、構造に加え、観察条件の設定方法、試料の特性に応じた前処理方法および観察中に遭遇する、帯電現象（チャージアップ現象）、コンタミネーションによる像の劣化の回避法について習得する。

セミナープログラム

　１．走査電子顕微鏡の基礎
　　1-1 SEMの歴史
　　1-2 SEMの原理と構成
　　1-3 SEMの基本操作
　　1-4 SEM観察条件の設定
　２．低加速電圧観察法
　　2-1 低加速電圧観察のメリット、デメリット
　　2-2 低加速電圧観察の高分解能化
　　2-3 低加速電圧による解析例の紹介
　３．低真空SEM観察
　　3-1 低真空SEMとは
　　3-2 低真空SEM観察のメリットと観察例
　　3-3 クールステージによる食品の観察 
　４．断面試料作製法
　　4-1 簡便な断面試料作製法の紹介
　　4-2 BIB（Brode Ion Beam）を用いた断面試料作製
　　4-3 BIB加工試料のSEM観察例の紹介
　５．像障害の回避法
　　5-1 帯電現象（チャージアップ現象）の原因とその回避法
　　5-2 コンタミネーションの原因とその回避法
　６．今後の展望
   
キーワード：走査電子顕微鏡、低加速電圧観察法、高輝度電子銃、低収差対物レンズ、BIB（Brode Ion Beam）法

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走査電子,顕微鏡,SEM,BIB,観察,画像,講演,Web,LIVE,セミナー

セミナー講師

（株）日立ハイテク　CTソリューション開発部　シニア　多持 隆一郎　氏
　《ご専門》走査電子顕微鏡の応用技術開発
　《ご経歴》
　　2001年4月～　（公社）日本顕微鏡学会SEM分科会常任幹事
　　2005年4月～　（公社）日本顕微鏡学会認定試験委員会委員（2018年～23年 副委員長）
　　2013年4月～2019年3月　NBCI計測・評価分科会　副主査
　　　　　　　　　　　　　　　　ナノテクノロジー委員会　副主査
　　2015年4月～　（公社）日本表面真空学会関東支部　副支部長
　　2017年4月～2019年3月　NEDO国プロ参画「複合計測システムの開発」
　　2023年6月～2025年6月　公益社団法人日本顕微鏡学会　常務理事
　　2025年6月～　公益社団法人日本顕微鏡学会　監事

セミナー受講料

49,500円（税込、資料付）
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