湿式洗浄技術の基礎とプロセス最適化の総合知識

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■湿式洗浄のメカニズムの理解と応用
■洗浄液は種々の汚れに対しどのように使い分けるのか
■洗浄不良の原因と陥りがちな悪い行動例を含めた対処方法
■シミュレーション、ハンセン溶解度パラメーターを用いた洗浄液の選定と洗浄液の評価や改善方法
■洗浄品質を上げるための超音波洗浄の強化方法

　本セミナーでは、湿式洗浄のメカニズムを理解するとともにそれを応用して実際の洗浄品質向上につなげられるようになることを目的としています。主な内容ですが、まず湿式洗浄の基本である「5つの基本工程と3つの分離メカニズム」を説明します。洗浄工程を考える時の標準になるものです。洗浄品質が良くない時はこの基本工程のどれかに問題があることになります。次に「水系、準水系、非水系洗浄液」については単に洗浄液種類の羅列ではなく、種々の汚れに対しどのように使い分けるのかの方法を説明いたします。また「超音波洗浄」とはそもそもなぜ必要なのか、なぜその周波数で洗浄するのか等、メカニズムを説明いたします。超音波洗浄では使う洗浄液の性質や製品形状で洗浄性が変わることがあるので注意が必要です。「洗浄不良と対策」では、実際にあった洗浄不良の原因と対策例、陥りがちな悪い行動例を含めながら、対処方法の基本を説明します。「高品質洗浄への取り組み」では、上述の洗浄メカニズムをどのように実洗浄で応用するのかを説明いたします。貴社製品材料の表面張力データの取得方法や、それを用いた汚れの分離エネルギー計算、DLVO再付着防止シミュレーション（エクセルソフトは事前配布します）、およびハンセン溶解度パラメーターを用いた洗浄液の選定を説明します。これらにより洗浄液の評価や改善方法がわかるようになります。またさらに品質を上げるための超音波洗浄の強化方法についても説明いたします。

1．洗浄の基礎
　1.1 洗浄とは
　1.2 洗浄工程の組み立てイメージ
　1.3 市販洗浄液の例

2．湿式洗浄の除去メカニズム
　2.1 5つの基本工程と3つの分離メカニズム
　　2.1.1 濡れ
　　2.1.2 分離
　　　・剥離、エッチング
　　　・溶解
　　　・分解
　　2.1.3 再付着防止・分散
　　2.1.4 排出（リンス）
　　2.1.5 乾燥
　2.2 水系洗浄
　　2.2.1 洗浄剤について
　　　・界面活性剤と酸、アルカリの働き
　　　・DLVO理論による汚れ再付着防止
　　　・電位 - pH図 応用によるエッチング剥離
　　2.2.2 排出（リンス）
　　　・PIV応用による排出効率向上
　　2.2.3 乾燥、除電
　2.3 準水系洗浄、非水系洗浄、エマルジョン洗浄
　　2.3.1 洗浄剤について
　　　・ハンセン溶解度パラメーター応用による洗浄溶剤選定
　　2.3.2 排出（リンス）
　　2.3.3 乾燥、除電
　2.4 洗浄液の選定方法
　2.5 市販洗浄液選定方法の例

3．湿式洗浄装置、治具
　3.1 洗浄装置
　　3.1.1 バッチ式装置の構成 
　　3.1.2 装置検討時の注意点
　3.2 超音波（メガソニック）
　　3.2.1 超音波洗浄メカニズム
　　3.2.2 周波数と槽深さの関係
　　3.2.3 異物大きさと周波数の目安
  3.3 その他の機械力印加洗浄
　　3.3.1 スクラブ洗浄
　　3.3.2 ジェットスプレー洗浄
　　3.3.3 二流体シャワー洗浄
　3.4 洗浄装置の選定方法
　3.5 治具　　　　
　　3.5.1 治具の種類
　　3.5.2 使用時の注意点（超音波、乾燥等）

4．洗浄不良と対策
　4.1 洗浄液選定起因の不良
　4.2 アルカリ洗浄液管理起因の不良
　4.3 同一洗浄液での異材質混合流動起因の不良
　4.4 純水バクテリア起因の不良
　4.5 超音波ダメージ起因の不良
　4.6 現場での不良原因確認と対応方法
　　4.6.1 陥りがちな悪い対応例 
　　4.6.2 良い対応例  

5．高品質洗浄への取り組み
　5.1 洗浄基本工程の評価と改善（濡れ、分離、再付着防止について）
　　5.1.1 未知の材料の表面張力の求め方
　　5.1.2 剥離エネルギーの求め方
　　5.1.3 DLVO再付着防止シミュレーション（エクセルソフトは事前配布します）
　　5.1.4 ハンセン溶解度パラメーターによる洗浄液選定の例
　5.2 超音波洗浄の改善
　　5.2.1 溶存空気濃度
　　5.2.2 ウルトラファインバブル添加 
　　5.2.3 超音波槽内の流れ

質疑応答

 

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【専門】
洗浄技術 薄膜技術

【略歴】
横浜国立大学工学部を卒業後、二輪車メーカー材料研究部門を経て諏訪精工舎（現セイコーエプソン）に入社。その後35年間、多くの製品、デバイスの生産技術開発、量産化に携わった。その際、「洗浄」に関わる課題に個々対応する中で実践的な「洗浄技術」を構築するとともに、社内技術部門や企業大学での洗浄技術の教育活動、OJTを通じてそれらを根付かせた。2019年に同社を退職後、生産技術コンサルティングのエステックC合同会社を設立、洗浄技術をベースとした企業の技術支援活動を行っている。

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