クライオエッチングの基礎・現状・課題と低温下における表面反応
受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ
日時
【Live配信】2025年10月28日（火） 13:00～16:30
【アーカイブ配信】視聴期間：2025年10月29日（水）PM〜11月5日（水）を予定
アーカイブ(見逃し)配信について
※アーカイブは原則として編集は行いません
※視聴準備が整い次第、担当から視聴開始のメールご連絡をいたします。
(開催終了後にマイページでご案内するZoomの録画視聴用リンクからご視聴いただきます）
セミナー趣旨
プロセス制御、材料選定などに広く基礎知識として押さえておきたい低温下における表面反応について、解析結果とともに解説します。
セミナープログラム
２．エッチングプロセスの基礎
2.1 プラズマ生成と表面反応
2.2 高アスペクト比（HAR)エッチング
2.3 チャージング現象
３．クライオエッチングの開発経緯
3.1 Si
3.2 SiO2
3.3 その他の材料
４．クライオエッチング技術の現状
4.1 超高アスペクト比加工
4.2 形状制御
５．クライオエッチングのハードウェア
６．低温における表面反応
6.1 表面分析 FT-IR XPS 水添加の効果 水の役割
6.2 表面抵抗評価
6.3 表面層のイメージ‐疑ウェットプラズマエッチングの提案
７．クライオALE
7.1 SiO2
7.2 SiN
7.3 金属材料
８． 課題と展望
９．まとめ
□質疑応答□
セミナー講師
セミナー受講料
49,500円 ( E-Mail案内登録価格 46,970円 )
定価：本体45,000円＋税4,500円
E-Mail案内登録価格：本体42,700円＋税4,270円
◆S&T会員登録とE-Mail案内登録特典について◆
2名で49,500円 (2名ともE-mail案内登録必須／1名あたり定価半額の24,750円)
〈1名分無料適用条件〉
※2名様ともE-Mail案内登録が必須です。
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※請求書（クレジットカード決済の場合は領収書）は、代表者にS&T会員マイページにて発行いたします（PDF）。
※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です(申込みフォームの通信欄に「請求書１名ごと発行」と記入ください)。
※他の割引は併用できません。
1名申込みの場合：受講料 39,600円(E-Mail案内登録価格 37,840円)
定価：本体36,000円＋税3,600円
E-Mail案内登録価格：本体34,400円＋税3,440円
※1名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
※お申込みフォームで【テレワーク応援キャンペーン】を選択のうえお申込みください。
※他の割引は併用できません。
受講について
受講方法・接続確認はこちら（申込み前に必ずご確認ください）
■セミナー視聴・資料ダウンロードはマイページから
お申し込み後、マイページの「セミナー資料ダウンロード／映像視聴ページ」にお申込み済みのセミナー一覧が表示されますので、該当セミナーをクリックしてください。
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＜配布資料＞
PDFテキスト(印刷可・編集不可)
※開催2日前を目安にマイページよりダウンロード可となります。
※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。
受講料
49,500円（税込）/人
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