表面分析の基礎、原理、および応用

セミナー趣旨

表面分析装置には先端技術の粋が集められています。分析の対象は、半導体素子、金属製品、医薬品、等幅広く、その目的もプロセス開発、品質管理、現象把握（例えば、腐食、汚染、偏析）、等多岐にわたっています。また、分析のスケールがナノオーダーになることも珍しくなく、その精度は人間の感覚を遙かに超えています。
特に近年の表面分析装置はユーザーフレンドリーであり、比較的容易に相応の結果を得ることができます。その反面、いわゆるブラックボックス化が進んでいるため、結果の適切な解釈にあたっては、分析・装置の両面について深い理解が求められます。そこで本セミナーでは、基礎事項として、サンプル表面に入射するX線、電子、イオンの特徴、これらと表面との相互作用、出力に至るまでの信号の流れ、等を分かり易く解説します。また、代表的な表面分析の原理や分析結果の例を紹介します。加えて、表面分析の応用として、マッピング、深さ分析について説明します。

受講対象・レベル

・表面分析に携わる予定または携わって間もない方（目安：1年以内）。
・既に表面分析の経験はあるが、今後、新しい表面分析に携わる予定の方（または新しい表面分析に携わって間もない方（目安：１年以内））。
・表面分析全般について理解したい方。
・各表面分析の特徴を把握したい方。
・表面分析装置の仕組みに関心がある方。

必要な予備知識

基礎から解説いたしますが、高校の数学、物理、化学の知識はあった方が望ましいです。

習得できる知識

・Ｘ線、電子、イオンの特徴とこれらと表面の相互作用を理解できる。
・ＳＥＭ-ＥＤＳ、ＡＦＭ、ＸＰＳ、ＳＩＭＳ、等、代表的な表面分析法の基礎・原理を理解できる。
・分析装置の一般的な仕組みを理解できる。
・各表面分析の相対的な位置づけが理解できる。
・憑依面分析の結果を適切に解釈できるようになる。

セミナープログラム

１．　表面分析の概要
　１-１．　はじめに
　１-２．　代表的なフロー

２．　表面分析の構成要素
　２-１．　入射
　（１）X線
　（２）電子
　（３）イオン

　２-２．　相互作用
　（１）X線と表面の相互作用
　（２）電子と表面の相互作用
　（３）イオンと表面の相互作用

　２-３．　認識
　（１）検出器
　（２）表示

　２-４．　その他
　（１）真空
　（２）試料ステージ
　
３．　表面形状観察
　３-1．　光学顕微鏡
　３-2．　SEM
　３-3．　レーザー顕微鏡
　３-4．　SPM

４．　表面元素等分析
　４-１．　XRF
　４-２．　XPS
　４-３．　AES
　４-４．　S-SIMS

５．　表面分析の応用
　５-1．　マッピング
　（１）SEM-EDS
　（２）EPMA
　（３）AES
　（４）S-SIMS
　（５）XRF
　（６）XPS

　５-2．　深さ分析
　（１）D-DIMS
　（２）スパッタリングの併用
　（３）RBS

６．　補足

７．　まとめ

キーワード：
表面分析,機器分析,XPS,FT-IR,Ｘ線,講演,セミナー,研修

セミナー講師

合同会社 I・R・D　CEO　博士（理学）　古田　啓　氏

【専門】
表面処理、経営管理、知財管理
【略歴】
30年以上にわたり、複数の民間企業において、非破壊検査、薄膜形成、等様々な研究開発・技術開発を担当。また、市場調査をふまえた新技術の開発、上市、生産部門への技術移管、技術支援、知財管理、営業支援、等に従事。
2024年1月、技術、経営、知財を総合的に支援するコンサルティングファーム：合同会社I・R・D（URL https://i-reseandev.co.jp/）を設立、現在に至る。中小企業診断士、第1種放射線取扱主任者、1級知的財産管理技能士（特許、ブランド）。

セミナー受講料

55,000円（税込、資料付）
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