レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策

受講対象・レベル

【１】レジスト材料の研究開発、製造、品質管理、販売
【２】半導体、ディスプレイ、MEMS、センサーなどのデバイス開発、製造、販売
　　　上記に従事されている方々（リーダークラスの方も歓迎です）

習得できる知識

・レジストを製造するための基礎知識、設計概念と具体的方法
・レジストの品質管理手法
・レジストを使用する際の留意事項、トラブル対応能力
・リソグラフィープロセスの最適化方法
・リソグラフィー使用現場におけるトラブル対応能力
・素材メーカー、レジストメーカーとしての顧客対応能力

セミナープログラム

１． リソグラフィの基礎
　（１）リソグラフィーとは
　（２）露光システムとリソグラフィー装置の変遷
　（３）解像度向上技術とそれに必要な材料

２．レジスト材料とその高性能化
　（１）パターンニング用レジスト材料（総論）
　（２）G線、i線用レジスト
　（３）KrF用レジスト
　（４）ArFおよびArF液浸用レジスト
　（５）EUV用レジスト
　（６）後工程（実装材料）用のレジスト

３．レジスト製造技術と品質管理
　（１）レジスト製造技術
　（２）レジストの性能安定化技術
　（３）品質管理－その項目と管理方法

４．レジスト材料の評価技術
　（１）性能評価
　　　素材（樹脂、感光剤、添加物）やレジストの簡便かつ安価な評価方法をご紹介します。
　（２）品質評価
　　　顧客からの要求項目、スペック項目についての評価方法を述べます。
　（３）シミュレーション技術

５．レジスト製造、および使用現場におけるトラブル対応
　（１）素材（樹脂、感光剤、添加物）製造時のトラブル
　（２）レジスト製造時のトラブル
　（３）レジスト販売時のトラブル
　（４）レジスト使用時のトラブル
　上記のそれぞれについて、①原因、②評価方法、③解決策を、材料面およびリソグラフィープロセス面から述べ、あわせて顧客対応策について詳述します。

６．20nm以下のリソグラフィー技術
　（１）ダブルパターンニング技術
　（２）DSA技術とその材料
　（３）ナノインプリント技術
　（４）今後のリソグラフィー技術

【質疑応答】

キーワード：
レジスト,リソグラフィー,露光,トラブル,不良,問題,課題,対策,研修,講座,セミナー

セミナー講師

（株）光機能材料研究所　代表取締役　工学博士　花畑 誠　氏

セミナー受講料

55,000円（税込、資料付）
■ 会員の方あるいは新規会員登録していただくと、下記の割引が適用されます。
　・1名申込の場合、55,000円（税込）→44,000円（税込）
　・2名同時申込の場合、合計110,000円（税込）→合計55,000円（税込）
　　　※両名の会員登録が必要です。


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受講について

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