【オンデマンド配信】半導体用レジストの基礎と材料設計および環境配慮型の新規レジスト除去技術

セミナー趣旨

習得できる知識

・レジストを製造するための基礎知識、材料設計指針
・レジストを使用する際の留意事項
・リソグラフィープロセスについて
・素材メーカー、レジストメーカーとしてのデバイスメーカー対応能力
・レジスト材料（ノボラック系ポジ型レジスト、化学増幅型レジスト）
・レジスト評価法について                                                                 
・レジスト除去（剥離）技術について

セミナープログラム

セミナー講師

大阪公立大学　学長特別補佐
大学院工学研究科　物質化学生命系専攻　化学バイオ工学分野　高分子化学研究グループ　教授
博士(工学)　堀邊 英夫　先生

＜ご経歴＞
1981年4月 京都大学 工学部 合成化学科 入学
1985年3月 京都大学 工学部 合成化学科 卒業
1985年4月 三菱電機 株式会社 入社 (研究員、主任研究員、主席研究員を歴任)
2003年3月 三菱電機 株式会社 退職
2003年4月 高知工業高等専門学校 物質工学科 助教授
2007年4月 金沢工業大学 バイオ・化学部応用化学科 教授
2013年10月～2022年3月 大阪市立大学 大学院 工学研究科 化学生物系専攻 教授
2014年4月～2017年3月 大阪市立大学 産学官連携推進本部 新産業創生研究ｾﾝﾀｰ 所長
2017年4月～2018年3月 大阪市立大学 大学院 工学研究科 化学生物系専攻 専攻長
2022年 大阪公立大学大学院工学研究科物質化学生命系専攻 教授 (現在に至る)
2022年 大阪公立大学 学長特別補佐 (現在に至る)
2007年4月 大阪大学 招聘教授 (兼) (現在に至る)
2015年4月～2016年3月 東北大学 客員教授 (兼)
2016年～2022年 兵庫県立大学 客員教授 (兼)
2016年～2019年 大阪工業大学 客員教授 (兼)
2017年 高知工科大学 客員教授 (兼) (現在に至る)
2017年 金沢大学 客員教授 (兼) (現在に至る)
2018年～2022年 東京農工大学 客員教授 (兼)
2021年 東北大学 特任教授 (兼) (現在に至る)
2021年～2022年 広島大学 客員教授 (兼)

＜ご専門＞
高分子物性（フィラー分散高分子の電気特性、PVDFの結晶構造制御、レジスト材料・プロセス、活性種とポリマーとの反応性）

＜ご研究内容＞
感光性樹脂、PVDF、オゾン、イオンビーム、ultra-fine processing technology、resist、PVDF/PMMA、PVDF/PMMA、PVDF、Polymer Composites Filled with Electrical Filler、polymer chemistry、lithography、ion beam、atomic hydrogen

【Webページ】https://www.omu.ac.jp/eng/polymer2021_lab/

セミナー受講料

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受講について

オンデマンド配信　►受講方法・視聴環境確認（申込み前に必ずご確認ください）

≪配布資料≫

●　製本テキスト
　※セミナー資料はお申込み時にご指定の住所へ発送させていただきます。
　※申込み日から営業日3日までに発送いたします。
●　講師メールアドレスの掲載：有

（備考）※WEBセミナーの録音・撮影、複製は固くお断りいたします。
　　　　※講師の所属などは、収録当時のものをご案内しております。