【中止】ダイヤモンドウェハ作製技術開発の現状と課題

セミナー趣旨

　物質中最高水準の物性を複数有するダイヤモンドは、宝飾用途のみならず、機械的、熱的、電気的に優れた特長を産業応用することに期待されている。本講座では、その実用化においてネックとなる人工結晶作製技術開発の現状について概要から詳細にわたり解説する。

受講対象・レベル

本テーマに興味のある方なら、どなたでも受講可能です。

必要な予備知識

この分野に興味のある方なら、特に予備知識は必要ない。

習得できる知識

・ダイヤモンド人工結晶の現状
・結晶成長・評価の基礎
・CVD法の現状課題
・周辺技術（シミュレーションの実際への活用法など）
   など

セミナープログラム

1．ダイヤモンドの基礎知識
　1）ダイヤモンドの構造的性質・物性
　2）ダイヤモンドの人工合成技術概要
　3）ダイヤモンドの応用展開まとめ

2．ダイヤモンドの結晶成長の基礎知識
　1）人工結晶成長方法の原理
　2）CVD成長法の実際

3．CVD装置や結晶成長技術向上の指針
　1）種々パラメータへの依存性
　2）数値シミュレーションの活用

4．ダイヤモンド半導体ウェハの結晶成長の実際
　1）背景－従来の技術
　2）ウェハ作製方法
　3）結晶拡大技術
　4）結晶欠陥評価
　5）結晶成長機構
　6）まとめ

5．ダイヤモンドウェハ化（加工技術）の現状
　1）切断技術
　2）研磨技術
　3）その他

6．まとめ
　1）まとめ
　2）今後の課題

＜質疑応答＞

■講演中のキーワード：
   ダイヤモンド、結晶成長、結晶加工、プラズマCVD、シミュレーション

＊途中、小休憩を挟みます。

セミナー講師

 山田 英明 先生   国立研究開発法人産業技術総合研究所
 パワーエレクトロニクス研究センター・ダイヤモンドウェハチーム　研究チーム長

セミナー受講料

【オンライン受講：見逃し視聴なし】：1名36,300円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき25,300円

【オンライン受講：見逃し視聴あり】1名41,800円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき30,800円

＊学校法人割引；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

受講について

※本講座は、お手許のPCやタブレット等で受講できるオンラインセミナーです。

配布資料・講師への質問等について

• 配布資料は、印刷物を郵送で送付致します。
  お申込の際はお受け取り可能な住所をご記入ください。
  お申込みは4営業日前までを推奨します。
  それ以降でもお申込みはお受けしておりますが（開催1営業日前の12:00まで）、
  テキスト到着がセミナー後になる可能性がございます。
• 当日、可能な範囲で質疑応答も対応致します。
  （全ての質問にお答えできない可能性もございますので、予めご容赦ください。）
• 本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり、
  無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止致します。

下記ご確認の上、お申込み下さい

• PCもしくはタブレット・スマートフォンとネットワーク環境をご準備下さい。
• ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております（20Mbbs以上の回線をご用意下さい）。
  各ご利用ツール別の動作確認の上、お申し込み下さい。
• 開催が近くなりましたら、当日の流れ及び視聴用のURL等をメールにてご連絡致します。

Zoomを使用したオンラインセミナーとなります

• ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております。
  お手数ですが下記公式サイトからZoomが問題なく使えるかどうか、ご確認下さい。
  → 確認はこちら
  ※Skype／Teams／LINEなど別のミーティングアプリが起動していると、Zoomでカメラ・マイクが使えない事があります。お手数ですがこれらのツールはいったん閉じてお試し下さい。
• Zoomアプリのインストール、Zoomへのサインアップをせずブラウザからの参加も可能です。
  ※一部のブラウザは音声（音声参加ができない）が聞こえない場合があります。
  　必ずテストサイトからチェック下さい。
  　対応ブラウザーについて(公式) ;
  　「コンピューターのオーディオに参加」に対応してないものは音声が聞こえません。

申込み時に（見逃し視聴有り）を選択された方は、見逃し視聴が可能です

• 開催5営業日以内に録画動画の配信を行います（一部、編集加工します）。
• 視聴可能期間は配信開始から1週間です。
  セミナーを復習したい方、当日の受講が難しい方、期間内であれば動画を何度も視聴できます。
  尚、閲覧用のURLはメールにてご連絡致します。
  ※万一、見逃し視聴の提供ができなくなった場合、
  （見逃し視聴有り）の方の受講料は（見逃し視聴無し）の受講料に準じますので、ご了承下さい。
  →こちらから問題なく視聴できるかご確認下さい（テスト視聴動画へ）パスワード「123456」