プラズマCVDによるナノ・微粒子材料の作製技術とプロセスモニタリング

セミナー趣旨

本セミナーでは、プラズマの物理的・化学的基礎から始めて、プラズマ発生装置、プラズマCVD 、プロセス解析のための計測方法、プロセスのモニタリング・制御、材料合成への応用、特にナノ・微粒子材料合成の方法について分かりやすく講述する。
プラズマ化学反応を利用した材料合成・加工の技術に関する研究開発には５０年ほどの歴史がある。特に半導体・電子産業において著しい進展があり、最近はナノ・微粒子材料の作製や、医療・環境・農業などの分野へも展開がなされている。プラズマは高いエネルギーの状態にあり、制御次第で、高速の電子やイオンを利用して効果的かつ自在に材料の合成・加工を行える潜在性を有し、様々な応用がなされてきた。しかし反面、非線形・自己組織化的特徴があり、周囲の環境などに敏感に応答して変化するため、プロセスの最適化や再現性についての課題もある。したがって、プラズマプロセスを真に有用な技術として利用するには、プラズマの物理を理解し、現象をその場でモニタリング・解析しながら制御することが重要となる。

セミナープログラム

１．プラズマの基礎
　1.1 プラズマの物理
　1.2 プロセスプラズマの発生
　1.3 原子・分子からイオン・ラジカルの生成

２．プラズマ装置とプラズマプロセス
　2.1 プラズマ発生装置と種類
　2.2 プラズマCVDの基礎
（プラズマCVD技術の発展、真空技術とプロセス工学、 プラズマCVDによる材料合成、気相反応と表面反応）

３．プラズマプロセスのモニタリング
　3.1 プロセスモニタリングの必要性
　3.2 気相と表面の計測とモニタリング
　3.3 偏光を利用したモニタリング

４．ナノ・微粒子材料のプラズマCVD
　4.1 ナノ・微粒子材料の作製
　4.2 気相・表面での核発生
　4.3 カーボンナノチューブとグラフェンの成長
　4.4 ナノ材料成長過程のインプロセスモニタリング

【質疑応答】

セミナー講師

大和大学　特任教授　京都工芸繊維大学　名誉教授　 林Ｒ＆Ｄ代表 　工学博士
林　康明　氏

セミナー受講料

1名につき55，000円（消費税込・資料付き）
〔1社2名以上同時申込の場合1名につき49，500円（税込）〕