1．クリーンルームのダンパーの役目

　クリーンルームの壁には、ダンパーが設置されているところが多いと思います。クリーンルームは、ゴミ、埃が大敵ですので、それらが寄って来ないように室圧を高くしてあり、一定の室圧を維持しながら余剰空気をダンパーから室外に放出しています。

　ダンパーには錘がついていて、圧力低下時は開口部を小さくしたり、あるいは閉じたりと言う開閉調整をしています。例えば、停電時は空調設備が停止し、室圧を高く保つことができないので、この錘によってダンパーが閉じ、外気の入り込みを押さえています。ところが、こういうケースに遭遇することは少ないので、日頃から不具合の確認やメンテナンスがされていないことが多く、動作しないものも時々見かけます。ダンパーから余剰空気が室外に流れ出る時に、空気だけでなく室内のゴミ、埃なども一緒に通過します。その汚れの一部が何年もの間に付着、蓄積して動作しなくなってしまっているのが原因です。

　ダンパーが閉まる時に、密閉度を高めたり金属同士の衝撃が起きないよう、パッキンがついていますが、これが外れているのも時々見かけることがあります。パッキンが外れてしまっていると、パッキンがダンパーと枠とに挟まれ、きちんと閉まらず隙間が出来、そこから外気が入り込んでしまいます。こうなるとクリーンルームは、短時間で汚染されてしまいます。

　二次更衣室などに設置のダンパーは、人の出入りが多くドアの開閉頻度が高い為に、室圧が頻繁に変化し、ダンパーが激しくパタパタと閉じたり開いたりします。この時パッキンが外れてしまっていると、ダンパーや枠が相互に激しく接触します。まるで、楽器のシンバルを叩いているかのような音がして、塗装粉や金属粉が発生し、飛散します。

2．日常点検の大切さ

　停電などの非常時に、クリーンルーム内の清浄度を少しでも良い状態で維持するために、パッキンは外れていないか、ダンパーはきちんと閉まるかを日常的に確認したいものです。クリーンルーム内の汚れ方が少ないと、通電後にクリーンルームを清掃し、生産再開までの立ち上げ時間が短縮されます。

　逆に、クリーンルームにひとたび汚染した空気が入り込んでしまうと、緊急避難により放置された製品が汚染されることや、生産設備、測定器の汚染、クリーンルームの清浄度低下が起き、元通りの状態に戻すまでには長時間かかります。そういう意味では、生産設備の管理だけでなく、付帯設備の管理も日常管理、点検に含めることが必要です。

　昨今の日本国内の地震の発生やその予測からも、発生頻度は多くなる傾向にあり、ダンパー一つ取ってもクリーンルームを正常に保つ関門、関所の位置づけとして大変重要です。普段見慣れている風景の中に、不具合、異常を見つけることは難しいので、管理、点検項目に加えるなど、仕組みで問題を排除することも大切です。

　この他にも、お金をかけないでできるクリーンルームの管理はいろいろあると思います。この機会に見直して見てください。

3．大勢の目を活用した監視

　工場診断を依頼され、訪問すると、まず二次更衣室へ案内され、防塵衣に着替え、クリーンルームに入ってから、｢さあ、お願いします｣と言うところが多いのですが、私はそのクリーンルームに案内されて行く途中から、前述のようなことを考えながら診断を始めています。中だけでなく、そのクリーンルームを取り巻く環境など外回りにも問題がある場合が多々ありますので、歩きながらも観察の目を緩めません。

。そこで気になったところや、外のダンパーの位置がクリーンルームの中ではどの辺かが分かりますので、現場に入ってからの位置関係も明確になり、診断がし易くなります。もし外からみて異常ではないかと推測されるところは、中に入るとその確認もできます。

　外で推測、中で確認や裏付けをする。そうやって自分の診断レベルが高められるのです。そんなことも依頼された現場に伝えておくと、担当者だけでなく多くの目が現場に向くことになり、様々な発見に繋がり、大勢の目を活用した監視に繋がります。

◆関連解説『環境マネジメント』