X線光電子分光法（XPS）の原理と注意点、実際の測定例

セミナー趣旨

これからお仕事等で分析を始められる方や分析業務にたずさわって2～3年の若手技術者の方を対象に、X線光電子分光法(XPS)の原理、放射光を用いた最近の光電子分光分析例の紹介、測定における注意事項、解析の流れと注意事項を分析初心者の方にも分かり易く説明致します．
・試料作成時の留意事項：表面汚染を避けるために、試料の取り扱いでやってはいけないことなど
・測定時の留意事項：表面汚染、試料のチャージアップなど
・解析時の留意事項：ピーク分離時のピークの推定、背景信号除去、元素同定、化学結合状態の推定、定性分析、定量分析における留意点など

受講対象・レベル

これからお仕事等で分析を始められる方や分析業務にたずさわって2～3年の若手技術者の方。

必要な予備知識

定性分析（元素の同定、化学結合状態の推定など）までであれば、特に予備知識は必要ありません。
定量分析を行う場合には、高校で習う程度の微分積分の知識が必要になります。

習得できる知識

X線光電子分光法（XPS）の原理、試料作成時の留意点、測定時における留意点、また測定結果（光電子スペクトル）の解析と解析結果の解釈についての基礎知識が得られる。

セミナープログラム

1.　はじめに
　1-1　X線光電子分光法(XPS)の原理
　1-2　XPSから得られる情報
　1-3　他の表面分析手法との比較

2.　放射光を用いた最近の光電子分光分析例の紹介
　2-1　硬X線光電子分光法を用いた最近の分析例
　2-2　角度分解光電子分光測定（ARPES）を用いた最近の分析例

3.　試料作成と測定時の留意事項
　3-1　試料作成時の注意事項（表面分析において、試料についてやってはいけないこと）
　3-2　試料が帯電する理由と対処

4.　解析の流れと留意事項
（解析の流れは、主にSiO2/Si構造のXPS結果を用いて説明いたします）
　4-1　背景信号
　4-2　ピーク分離
　4-3　損失スペクトルを用いたバンドギャップの測定
　4-4　深さ方向分析の原理と例
　4-5　定量分析

5.　まとめ
　5-1　光電子スペクトル解析時の注意事項と対策
　5-2　表面分析において、分析試料についてやってはいけないこと
　5-3　まとめ

キーワード：
X線光電子分光法,XPS,表面分析,光電子分光分析

セミナー講師

東京都市大学
理工学部　電気電子通信工学科
教授　博士（工学）　野平 博司氏

【ご専門】
表面・界面分析（主に、金属・絶縁膜・半導体の界面評価）

【ご略歴等】
応用物理学会　シリコンテクノロジー分科会　幹事
応用物理学会　薄膜・表面物理分科会　幹事
日本表面真空学会「会誌」表面と真空　編集委員会　編集委員　など

セミナー受講料

49,500円（税込、資料付）
■ 会員（案内）登録していただいた場合、通常1名様申込で49,500円（税込）から
・1名で申込の場合、46,200円（税込）へ割引になります。
・2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計49,500円（2人目無料）です。

※LIVE配信とアーカイブ配信（見逃し配信）両方の視聴を希望される場合
　会員価格で1名につき49,500円（税込）、2名同時申込で60,500円（税込）になります。
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