光導波路用感光性樹脂の材料設計指針と導波路作成・微細加工技術

光導波路用材料に求められる物性と課題、材料設計へのポイント

co-package opticsなど新しい応用で再注目される光導波路、その中の感光性樹脂に焦点を当て、
低損失性・光閉じ込め性・耐熱性・黄変抑制といった材料の要求特性確保のアプローチと、
リソグラフィやRIE法による導波路作製・微細加工までを、国内企業の事例も交えながら紹介します。


開催日時

 【Live配信受講】2025年11月21日(金)  13:00~16:00

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    セミナー趣旨

     プリント配線板の作製プロセスが流用できるポリマー光導波路の光インターコネクト及び光回路部品への応用は、古くから検討が行われてきている。しかし、従来の電気基板、配線におけるプロセス及び材料技術の向上により、これまで本格的な光化の市場は開かれてこなかった。このような背景から、これまで多くの国内光導波路メーカーが開発検討を止めていった経緯があるものの、近年、co-package opticsにおける素子-ファイバー間の接続用途として再度需要が高まりつつある。そこで本講演では、ポリマー光導波路に要求される各種特性に対して試みられてきた材料設計、及び、その微細加工方法について、国内企業における従来材料を例に挙げつつ紹介する。

    セミナープログラム

    1.光インターコネクトにおける光導波路の役割

    2.光導波路用感光性樹脂の材料設計
     2.1 光導波路用材料に求められる物性と課題因子
     2.2 光学特性の付与
       ・低損失(吸収損失、散乱損失)
       ・光閉じ込め性
     2.3 耐熱特性の付与
       ・耐熱黄変
       ・黄変の抑制策
     2.4 機械特性の付与
     2.5 微細加工性の付与

    3.光導波路の作製方法
     3.1 フォトリソグラフィー法
     3.2 フォトブリーチング法
     3.3 フォトアドレス法
     3.4 リアクティブイオンエッチング(RIE)法

    4.国内各社における光導波路材料の設計例

      □質疑応答□

    セミナー講師

    九州産業大学 生命科学部 生命科学科 准教授 博士(工学) 平山 智之 氏

    <ご経歴>
    平成17年 九州産業大学大学院博士後期課程生産システム工学専攻 修了
    平成17年 住友化学株式会社 つくば研究所 博士研究員
    平成18年 日東電工株式会社 主任研究員
    平成29年 九州産業大学 生命科学部 准教授

    <ご専門>
    高分子材料化学、有機合成

    セミナー受講料

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    高分子・樹脂材料   光学技術   電子材料

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