セミナー趣旨

習得できる知識

・SiCゲートスタック形成における各種のMOS界面形成技術
・SiC MOS界面欠陥パッシベーション技術、SiC MOSFETの高移動度化技術
・SiCの酸化反応、窒化反応、その他の表面反応の特徴の理解

セミナープログラム

セミナー講師

セミナー受講料

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