感光性材料の基礎・種類・特性と設計における留意点

セミナー趣旨

　LSIや実装工程では、数多くの感光性材料が用いられている。それら感光性材料について、用いられているパターン形成手法、感光性材料の種類、感光性材料の開発における留意点について述べる。
感光性材料が用いられる意義を理解し、開発している人が陥りやすい勘違いや注意点をまとめる。また、感度および解像度向上を目指すときに考えるべき課題を述べる。感光性材料の開発事例を紹介し、感度や解像度向上の感光性材料開発で直面する課題を考える参考になるようにする。最後にLSI用レジストと実装用感光性ポリイミドの特許を参考に、感光性材料の動向を考察する。

受講対象・レベル

・感光性材料にたずさわって2~3年の若手技術者や新人の方
・感光性材料を利用する方

習得できる知識

感光性材料開発の正しい開発の進め方を理解できる
感光性材料の正しい扱い方を理解できる
最新の感光性材料動向がわかる

セミナープログラム

１．はじめに

２．感光性材料の種類

３．感光性材料開発に必要な基礎知識と設計の留意点
　3-1 光を用いる理由
　3-2 露光装置と光吸収
　3-3 光吸収と光化学反応、Lambert－Beer則
　3-4 感光性材料内での反応（固体内反応）
　3-5 現像プロセスの重要性
　3-6 感度測定留意点
　3-7 解像性を決める要因

4．最新の動向
　4-1 LSI用レジストの動向～EUVレジストを中心に～
　　（1）化学増幅系
　　（2）無機レジスト
　　（3）ドライレジスト
　　（4）その他
　4-2 実装用・再配線用の感光性材料～感光性ポリイミドを中心に～

【質疑応答】

キーワード：
感光性材料,LSI,レジスト,ポリイミド,実装,セミナー
 

セミナー講師

信州大学 繊維学部 特任教授 理学博士 上野 巧 氏

【ご専門】感光性材料
【ご経歴・ご活躍】
過去、日立製作所、日立化成において感光性材料開発に携わる
フォトポリマーコンファランス組織委員・企画委員

セミナー受講料

49,500円（税込、資料付）
■ 会員の方あるいは申込時に会員登録される方は、受講料が1名49,500円（税込）から
　・1名46,200円（税込）に割引になります。
　・2名申込の場合は計49,500円（2人目無料）になります。両名の会員登録が必要です。

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