＜クリーン化技術ノウハウ＞クリーンルームにおけるゴミ・異物対策および静電気対策の基礎と実践

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　「クリーンルームは管理無ければ只の箱」と言われます。その管理の基本『クリーン化の四原則』を明確にし、対象となるエリア「加工点」「保管場所」「搬送系」の3点を対象に、清掃を含めて、いかに効率的にかつ効果的な管理を行うのかを、いくつかあるクリーンルームの形態毎に、不良につながる可能性状態を動画や写真でご紹介し、効果的な管理につながる手法を明らかにして行きます。

　「クリーンルーム環境で製造をしていても、異物不良が発生して困っています。」「クリーン度の数値は規格内にあり問題ないのに、異物不良が多発して悩んでいます。」こうした声を多く聞く様になりました。
これは、自工程で不良につながる粒子径や様態を確実に掴んでいないこと。また、パーティクルカウンターに頼った微粒子管理を優先していることが、要因として考えられます。5～10～100μｍと言った『粗大粒子』にも着目し、ゴミ・異物の見える化手法やパーティクルカウンターでは、計測し難い粒径や様態の検出手法、数値管理方法を述べて参ります。また、ゴミ・異物管理～対策において避けて通れない「静電気」にも目を向けて管理手法・対策手法を明らかにして参ります。

　現場に戻り即役立つ情報・技術・管理手法等を分かりやすく解説致します。ご質問や疑問点があるときは、質疑応答時間若しくは　終了後メールにてお寄せください。多くのご質問をお待ちしております。一緒に考えて解決して行きましょう。

 

１．クリーンルームにおけるゴミ・異物対策の基礎知識　【目安：75分】
　1-1 なぜ、クリーン化が求められるのでしょうか。
　1-2 クリーンルームの導入効果とは
　1-3 加速するクリーン化の要求
　1-4 ものづくり環境はどうあるべきなのか。
　　　（1）良い清浄環境とは？良い製造環境とは？
　1-5 クリーン化関連技術マップの解説
　1-6 クリーンルームの目的とは
　1-7 クリーンルームの活用事例
　1-8 クリーンルームの分類
　1-9 クリーンルームのはじまり～歴史
　1-10 クリーンルームの定義
　1-11 クリーンルーム環境の留意点
　1-12 クリーンルームの方式と特徴
　1-13 2つの清浄化メカニズム
　1-14 HEPA／ULPAフィルターとは
　1-15 エアーフィルターの捕集原理と捕集効率
　1-16 なぜ、クリーン化四原則なのか
　1-17 クリーン度の表し方/クラス比較
　1-18 クリーンルームの日常管理等

２. クリーンルームの清掃と見える化機器の活用管理　【目安：50分】
　2-1 クリーン化における清掃は技術として捉えよう
　2-2 この差ってなんですか？：掃除と清掃の違いって分かりますか。
　2-3 クリーンルームの清掃の目的と意義
　2-4 「3つ」の管理POINTと標準化：いつ？誰が？どうやって？
　2-5 生産環境における清浄化対象箇所とは
　2-6 清掃はいつやるのが良いのか?　：始業時？終業時？昼休み前後？
　2-7 クリーン化の四原則における清掃の位置付け：除去／排除する
　2-8 クリーンルームの占有状態と言う捉え
　2-9 清浄化の重点箇所と留意点：加工点/保管場所/搬送系
　2-10 「見える化機器」の活用法
　2-11 なぜ、見える化が必要なのか
　2-12 気流の可視化も重要。：浮遊異物は気流によって運ばれる。
　2-13 クリーンルームの清掃方法
　　　（1）清掃作業員の適正化も大切
　　　（2）清掃方法の分類と方法：日常/定期/特別と言う捉え
　　　（3）清掃方法に関する留意事項：清掃し易い環境をつくる　
　　　（4）清掃の手順はどうするのか。
　　　（5）清掃資材の汚れ状態も確認しよう
　　　（6）清掃用具類のあり方
　　　（7）清掃方法の効果と比較
　　　（8）静電気による粒子付着に対する清掃POINT
　　　（9）粘着マットの剥がし方にも注意を！等

３. 防塵衣の管理と身近な発塵源と発塵対策　【目安：50分】
　3-1 なぜ、防塵衣を着るのでしょうか。
　3-2 防塵衣の適正化に取組む各メーカー
　3-3 人間の動作と発塵量
　3-4 クリーンルーム内のゴミ・異物の割合は？
　3-5 皮膚からの発塵の抑制の考え方
　3-6 防塵衣に求められる性能
　3-7 織り込み導電繊維の効果って知ってますか。
　3-8 防塵衣の性能を発揮するには？
　3-9 防塵衣着用時の発塵機構を知ろう。
　3-10 動作発塵評価方法と評価事例ご紹介
　3-11 ポンピング発塵データご紹介
　3-12 評価環境と機器類とは
　3-13 防塵衣クリーニングのあり方：専用クリーニングとは
　3-14 身近な発塵源と発塵対策：粗大粒子の捉え
　　　（1）身近な発塵源の状況可視化：動画でご紹介
　　　（2）クリーンルーム内で使用する資材の評価と評価方法/データ
　　　（3）粗大粒子と言う捉え
　　　（4）クリーンルームの中には、5μm以上の異物はないのでしょうか。
　　　（5）自工程で不良につながる異物粒径を知ろう
　　　（6）粗大粒子による影響が大きい現実
　　　（7）粗大粒子が原因となった不良事例ご紹介
　　　（8）JISによる粒子の分類と定義
　　　（9）微粒子と粗大粒子の挙動/振る舞いの違いとは
　　　（10）気中パーティクルカウンターの特性
　　　（11）パーティクルカウンターの吸引量による違いを知ろう
　　　（12）ゴミ・異物の大きさと挙動の認識（鉄1kgと綿1kgどっちが重い？）
　　　（13）粗大粒子対策は換気回数を上げても、減少しない。
　　　（14）粗大粒子は見える化出来る！
　　　（15）粗大粒子の見える化から数値化/数値管理法
　　　（16）ISO-14644シリーズ規格
　　　（17）ISO-14644-9表面清浄度規格：ＳＣＰ規格
　　　（18）ISO準拠　粗大粒子測定器：落下塵カウンターの概要　　等

４. クリーン化・異物対策における静電気対策の基礎と実践　【目安：80分】
　4-0 なぜ、クリーン化において、なぜ静電気に注力しなければいけないのか？
　4-1 電気とは・・・（動電気/静電気）
　4-2 静電気の基本（静電気の発生と静電気要因不良）
　4-3 静電気対策方法：考え方
　4-4 イオナイザーの種類と特性：選択ミスは不良につながる。
　4-5 除電のメカニズム
　4-6 イオナイザー使用時の注意点
　4-7 作業環境（湿度）と静電気の発生
　4-8 静電気対策は、費用が掛かる？
　4-9 静電気対策事例：良い事例／悪い事例：対策方法事例紹介
　4-10 後戻りしない対策のあり方：まとめ

　□質疑応答□