半導体デバイスの物理的洗浄方法

セミナー趣旨

　今や半導体は我々の生活の上でなくてはならないものである。最近では半導体そのものが戦略物資となるほどに重要である。（昨今の台湾領土問題についても、半導体技術の奪い合いとも言われている。）このセミナーは半導体デバイスの物理的洗浄に関して説明を行います。セミナーではできるだけ工学基礎（半導体の基礎の基礎、流体力学、電気磁気学、AI）も説明を行い、現在半導体デバイスの製造プロセスで使われている物理的洗浄について原理から丁寧に説明します。
　また講演者が専門としている半導体デバイス製造時の静電気障害の対策についても紹介し、それを防止するためのAI技術についても述べます。半導体デバイス製造プロセスにどのようにAIが用いることができるがヒントになると幸いです。
　基礎的なことからお話しますので、半導体デバイス洗浄に関わる数年の方や半導体デバイス洗浄にビジネスをお探しの方に最適かと思います。
　講義後、質疑応答の時間以外にもメールにてご質問にもお答え致します。

受講対象・レベル

　・半導体デバイス業界に興味がある方
　・半導体洗浄に関わる入社 2，3年目の若手技術者

習得できる知識

　・半導体デバイスの基礎知識（マーケットの概要も含む）
　・半導体デバイスの洗浄に関する知識

セミナープログラム

1.　半導体デバイスのマーケットの動向と業界動向
　　
2.　半導体デバイスの物理的洗浄の必要性　
　2-1　電気の基礎
　2-2　半導体の基礎
　2-3　半導体製造プロセス
　　
3．半導体デバイス製造プロセスにおける洗浄の必要性　
　3-1　化学的洗浄
　3-2　物理的洗浄
　　
4．水流を利用した洗浄について　
　4-1　流体力学の基礎
　4-2　高圧スプレー洗浄
　4-3　二流体スプレー洗浄
　4-4　超音波洗浄スプレー洗浄　
　4-5　ブラシ洗浄
　4-6　次世代の物理的洗浄技術　
　　
5．スプレー洗浄時の静電気障害
　5-1　静電気の基礎
　5-2　半導体デバイスの洗浄の静電気障害
　5-3　スプレー時に発生する静電気と静電気障害のメカニズム　
　　
6．AIを用いた半導体デバイスの生産技術
　6-1　AIの基礎
　6-2　半導体製造に用いられるAI
　6-3　静電気障害防止を例にしたAIの活用法

※ 適宜休憩が入ります。

セミナー講師

　清家 善之 氏　　愛知工業大学 工学部電気学科　教授

【講師経歴】
　1990年　旭サナック㈱ 入社 ・静電塗装機用高電圧発生回路の開発 ・半導体デバイス・FPD洗浄装置製造販売 ・電子デバイス用製膜装置の製造販売 ・技術統括・品質保証
　2004年　米国アリゾナ大学 客員研究員 ・半導体デバイスの精密加工プロセス（CMP）の研究
　2007年　埼玉大学（学位取得）
　2016年　愛知工業大学 工学部電気学科 教授
　2022年　la quaLab 合同会社 代表社員（兼務）

【活　動】
研究歴：
　半導体デバイスや液晶パネル等の洗浄装置の開発設計に従事、有機デバイス（有機系太陽電池）の製作プロセスに関する研究に従事
研究分野：
　電気電子材料、半導体デバイスの洗浄プロセス、品質工学

【所属学会】
　応用物理学会、電気学会、電子情報通信学会、静電気学会、精密工学会、The Electrochemical Society(ECS)

セミナー受講料

44,000円（税込）　　

＊ 資料付
＊メルマガ登録者39,600円（税込）
＊アカデミック価格26,400円（税込）

★メルマガ会員特典
2名以上同時申込で申込者全員メルマガ会員登録をしていただいた場合、
1名あたりの参加費がメルマガ会員価格の半額となります。

★ アカデミック価格
学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、
大学院の教員、学生に限ります。申込みフォームに所属大学・大学院を記入のうえ、
備考欄に「アカデミック価格希望」と記入してください。

受講について

• 本セミナーはビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  お申し込み前に、下記リンクから視聴環境をご確認ください。
  　→ https://zoom.us/test
• 当日はリアルタイムで講師へのご質問も可能です。
• タブレットやスマートフォンでも視聴できます。
• お手元のPC等にカメラ、マイク等がなくてもご視聴いただけます。この場合、音声での質問はできませんが、チャット機能、Q&A機能はご利用いただけます。
• ただし、セミナー中の質問形式や講師との個別のやり取りは講師の判断によります。ご了承ください。
• 「Zoom」についてはこちらをご参照ください。

■ お申し込み後の流れ

• 開催前日までに、ウェビナー事前登録用のメールをお送りいたします。お手数ですがお名前とメールアドレスのご登録をお願いいたします。
• 事前登録完了後、ウェビナー参加用URLをお送りいたします。
• セミナー開催日時に、参加用URLよりログインいただき、ご視聴ください。
• 講師に了解を得た場合には資料をPDFで配布いたしますが、参加者のみのご利用に限定いたします。他の方への転送、WEBへの掲載などは固く禁じます。
• 資料を冊子で配布する場合は、事前にご登録のご住所に発送いたします。開催日時に間に合わない場合には、後日お送りするなどの方法で対応いたします。