【中止】MEMS技術の最新動向とデバイス開発事例

MEMSの使われ方、作製技術、ビジネス化へのポイントまで
最新動向やノウハウを徹底解説！

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    セミナー趣旨

    量産MEMSや多品種少量MEMSなど多様なMEMSを使われ方から説明し、その後、基本プロセスや組合せプロセスなどの製作法、および要素技術をそれぞれのMEMSと関連付けて分かるようにする。最後に開発がボトルネックになるMEMSをいかにしてビジネスに結び付けるかを議論する。

    セミナープログラム

    １．MEMSの使われ方と基本プロセス
    　1.1 概論
    　1.2 自動車・スマートフォンなどで使われる(量産)MEMS
    　1.3 IT機器、バイオ・医療・健康などで使われる(量産・高付加価値)MEMS
    　1.4 インフラ･安全・環境、製造･検査などで使われる(高付加価値)MEMS
    　1.5 基本プロセス1 (パターニング、エッチング)
    　1.6 基本プロセス2 (堆積と応力制御、接合)

    ２．組合せプロセス、MEMS関連技術、MEMSの要素、MEMSの拡がりとコラボレーション
    　2.1 組合せプロセス1 (バルクマイクロマシニング、表面マイクロマシニング、ナノマシニング)
    　2.2 組合せプロセス2 (ウェハ転写とヘテロ集積化、電気的接続、パッケージングと真空封止)
    　2.3 ダイシング、各種プロセス、テスト・評価、MEMS材料の機械特性、共振子、光MEMS、失敗物語
    　2.4 MEMSの要素 (センサ、アクチュエータ、エネルギ源)
    　2.5 MEMSのトレンドとLSIへの拡がり、設備共用、知識提供と連携 他

    参考書
    「はじめてのMEMS」森北出版(2011)
    「これからのMEMS −LSIとの融合−」森北出版(2016)

    【質疑応答・個別質問・名刺交換】

    セミナー講師

    東北大学　マイクロシステム融合研究開発センター　シニアリサーチフェロー(名誉教授)
    工学博士　江刺 正喜 氏

    セミナー受講料

    1名につき63,800円（税込・昼食・資料付き）
    〔1社2名以上同時申込の場合1名につき58,300円（税込）〕


    講師のプロフィール

    江刺 正喜

    えさし まさよし ／ 宮城県 ／ 東北大学

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    10:30 ～

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    ナノマイクロシステム
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