水の動きで読み解く半導体洗浄のポイント

セミナー趣旨

　水の動きを軸に半導体洗浄を読み解き、基礎現象の理解から困った時の対策までポイントを1日で説明します。
　半導体にとって「清浄・きれい」とは何かを意識し、水の流れを動画で眺めると、洗浄とは何をどうする操作なのかが直感で分かります。ここでは、さまざまな薬液の役割を紹介し、乾燥の要点にも触れた後、身近な流れの動画を見て感覚をつかみます。次に、大口径ウエハの枚葉式洗浄、バッチ式洗浄の流れを可視化観察動画と数値シミュレーション事例で具体的に理解します。超音波や手動操作で生まれる流れについても、流れと気泡の動画を見るとイメージが明確になります。今後、極めて微細なパターンを洗浄する場合に見落としがちな事についても示して行きます。
　最後には、足元をすくわれた時の視点と対策のポイントを整理します。
　「洗いたい場所に必要な量だけ薬液を届けること」を意識して受講すると、特に効果があります。

受講対象・レベル

洗浄とは何かを学びたい初心者、洗浄に関わる要点をあらためて整理したい技術者、洗浄技術を初めて指導・管理することになった管理者、将来の大口径・微細パターン洗浄の問題点を見抜きたい技術者。

必要な予備知識

特に予備知識は必要ありません。
身近な流れ（蛇口から流れ落ちた水、川や雲の動きなど）を意識して眺めていただくと、役に立ちます。
「洗いたい場所に必要な量だけ薬液を届けること」を意識して下さい。

習得できる知識

以下のことが分かります。

・先端材料の洗浄方法を構成する要素
・半導体にとって「清浄」とは何か
・キレイにするための表面の取扱い方
・洗浄の水流と気泡の作り方、使い方と整え方
・微細パターン洗浄条件の盲点

セミナープログラム

１． 洗う理由：汚れは何？いつ、どこからなぜやって来る？

２． 洗浄の４要素（温度、時間、化学、力学）：力学が最も大切である理由

３． 半導体の洗浄に特有のこと（洗浄で実現したい状態）

４． 先端技術情報（半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会）

５． 半導体洗浄の基礎現象（薬液と流れの効果）
　　　5-1. 化学で汚れを動かす操作：薬液の働き（付着・脱離・引き剥がす）と乾燥
　　　5-2. 力学で汚れを動かす操作：流れ、熱、拡散
　　　5-3. 装置内流れの種類（完全混合、押出流れ、境界層）
　　　5-4. 流れの可視化観察（「流れ」と「拡散」の感覚を動画で）

６． 洗浄機内の流れと反応
　　　6-1. 枚葉式洗浄機
　　　　　　（１）水の流れの実例（実機の観察動画とシミュレーションの例）
　　　　　　（２）ノズルのスイングを続ける工学的理由
　　　　　　（３）化学反応の例（表面反応もここまで分かる）
　　　6-2. バッチ式洗浄機
　　　　　　（１）水の流れの実例（実機の観察動画とシミュレーションの例）
　　　　　　（２）水流を低コストで最適化した事例（入口と出口を変える）
　　　　　　（３）上下揺動で流れを巻き込む
　　　6-3. 超音波の働き
　　　　　　（１）水と気泡の動きの実例（実機の観察動画）

７． 洗浄結果の評価方法

８． 狭い空間の洗浄（盲点と工夫）

９． まとめ：困った時の視点と対策（境界層を壊そう！）

１０． まとめ：困らないように（地球環境は壊さない！）

【質疑応答】

キーワード：
洗浄,半導体,薬液,水の流れ,大口径ウエハ,超音波,評価方法,セミナー,講演,研修
 

セミナー講師

反応装置工学ラボラトリ 代表 博士（工学）
羽深 等 氏

【ご専門】
化学工学（反応工学）、半導体結晶ウエハ生産プロセス技術

【ご経歴等】
横浜国立大学名誉教授、化学工学会シニア会員、化学工学会エレクトロニクス部会長、応用物理学会会員、日本結晶成長学会会員、米国化学会会員、米国電気化学会名誉会員、エレクトロニクス実装学会会員、空気清浄協会会員、よこはま高度実装技術コンソーシアム理事長

セミナー受講料

55,000円（税込、資料付）
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