【中止】圧電薄膜技術とその測定法および圧電MEMSデバイスの最新動向

セミナー趣旨

　圧電薄膜を用いたMEMS技術について，その特徴と実用化に向けた現在の開発状況，また圧電薄膜およびその評価技術に関する基礎について解説する．
　圧電材料の有する優れた電気機械変換効果は，マイクロデバイス化することによりその特徴を更に引き出すことができる．現在はシンプルな構成のデバイスが実用においても主流となっているが，今後従来のMEMSで蓄積された微細構造と融合することによって新しい技術展開が期待される．
　本講義では圧電薄膜材料に加え，応用デバイスの基礎となるユニモルフ構造について取り上げ，設計の基礎となる力学的特徴について説明する．

習得できる知識

・PZT圧電薄膜のスパッタ成膜技術
・圧電薄膜の結晶構造および電気特性評価
・薄膜材料の圧電定数評価法
・ユニモルフ素子構造の設計

セミナープログラム

１．圧電MEMS技術の概要
　1-1.MEMS技術とその応用
　1-2.PZT圧電薄膜を用いた応用デバイス

２．圧電MEMSの要素技術
　2-1.圧電材料とその特徴
　2-2.薄膜化プロセス

３．薄膜材料の圧電特性評価

４．ユニモルフカンチレバーの力学

５．まとめ

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セミナー講師

神戸大学 工学研究科機械工学専攻 教授 博士（工学） 神野 伊策 氏

セミナー受講料

49,500円（税込、資料付）
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