クリーンルーム 清浄度維持の勘どころ

　クリーン化技術に携わる、初級から中級までの全ての方々を対象に、上級入口までの内容を、平易な言葉で説明します。理論のほか、実験・実測・経験に基づいた内容も示します。例題で、具体例・図・表・写真も多く掲げます。質問は随時受け付けます。専門用語は進行に伴って自然に吸収できるようにします。

　講演の重要ポイントは以下の通りです。
　　１．汚染の原因と対策
　　２．作業員管理・教育の重要点
　　３．クリーンルームの適正な状態の維持・管理
　　４．クリーン化技術の最新の動向

１．クリーンルーム（以下、CR）の基礎
　1.1 清浄度とは何か？
　1.2 CRの種類・形式・変遷
 
２．クリーンルーム内の汚染物質［塵埃］
　2.1 塵埃の性質
　　a.気流との関係、拡散範囲
　　b.［演習］空気中で微小粒子はどのように移動するのか？
　　c.発塵による塵埃の拡散（その汚染範囲は？）
　2.2 人・物からの発塵
　　a.拡散範囲、内圧変動、摺動発塵
　　b.製品と人と製造装置の位置関係の影響
　　c.衣類の摺動による発塵
　　d.人からの発塵

３．クリーンルーム内の作業員管理と教育
　3.1 CRの4原則
　3.2 クリーンスーツ着衣人体からの発塵機構
　　a.クリーン手袋からの発塵
　　b.クリーンスーツ内の圧力変動
　　c.クリーンスーツを通しての発塵
　　d.［演習］人体からの塵埃拡散範囲
　3.3 人の適正な位置取り・適正な動作とは？
　3.4 クリーンスーツの選定、洗濯頻度
　　a.クリーンスーツ選定の要件
　　b.クリーンスーツのフィルタ効率と運動発塵量との関係
　　c.クリーンスーツの劣化
　3.5 クリーン手袋は上か下か？
　3.6 エアシャワーの効果
 
４．さらなる清浄化への指針（対策）
　4.1 微小塵埃／ミスト／気流を把握 → そして対策へ
　4.2 普遍的な対策コンセプトとは？
　4.3 除去／抑制の手順と考え方
 
５．クリーンルームの清掃
　5.1 清掃の種類と方法
　5.2 各部位の清掃方法･頻度、特定表面の清掃
　5.3 注意点
 
６．クリーンルームの国内外関連規格の最新動向
　　ISO規格、JIS規格、JACA指針など
 
７．参考文献紹介（初級～上級まで、主要なものを表紙画像と内容も含め紹介）

□ 質疑応答 □

 

[略歴]
1980年代より、主にクリーンルームに関する研究・開発に従事。長年の成果品の情報整備と活用、技術営業、社内外教育、社内教育プログラム設計、社内プレゼンテーション講師、学協会活動、講演、執筆、通信教育（社外）、知的財産権管理等を行ってきた。講演回数69回（累計441.0時間）、執筆90件、通信教育18件。
[専門]
クリーンルームに関する研究・開発全般（特に工業用クリーンルーム）、プレゼンテーション、技術教育
[資格]
エネルギー管理士、環境計量士(騒音・振動関係)、TOEIC 765点
[学協会活動(現在は、全て退任)]
・ISO/TC国内委員会委員（日本空気清浄協会）
・JIS B 9920 改正原案作成委員会　本委員会委員
・「クリーンテクノロジー」誌　編集委員
[主要著書・執筆]
・「半導体製造装置用語辞典」（第4版）(1997)共著
・「液晶ディスプレイ製造装置用語辞典」（第2版）(2003)共著
・「――初心者のための――クリーンルーム入門 」(2005)共著
・「――初心者のための――クリーンルーム入門（第2版）」(2007)共著
・「クリーンルーム通信教育」テキスト(2007)
・「微生物管理実務と最新試験法」
　第6章クリーンルームの浮遊塵埃数と空中浮遊菌の測定および環境管理(2007)
・「クリーンルームの設計・施工マニュアル」(2008)共著
・「――初心者のための――クリーンルーム入門（第3版）」(2008)共著
・講演録「クリーンルームの基礎と汚染対策、作業員教育」第1刷(2009)
・「クラス10、000のクリーン管理　――局所高清浄度域の確保と維持――」通信教育テキスト(2009)
・「――初心者のための――クリーンルーム入門（第4版）」(2010)共著
・「わかりやすいクリーンルーム総合講座　――歩留まり向上のための改善ポイント――」
　通信教育テキスト(2010/2011/2019/2020/2021)
・「クリーンルーム国際資格認証制度の動向」(2010)
・講演録「クリーンルームの基礎と汚染対策、作業員教育」第2刷(2011)
・「クリーンルームで発生する総合トラブル対策　－実例集－」(2012)共著
・「わかりやすく学べる　クリーンルームの基礎と汚染対策」第1回～第67回;
　クリーンテクノロジー(2012～2019)
・「より良いクリーンルーム実現のための基礎知識と重要ポイント」
　通信教育テキスト(2020/2021/2022)
・随想 “技術は現在地のみで語れるか？”；空気清浄、掲載頁未定、60(2)(2022)