【中止】原子間力顕微鏡(AFM)の基本原理、測定とそのノウハウ、データの取得・解析方法

~ユーザー視点からの技術ポイント~

■AFMの基礎と基本原理
■AFMを使用する上でのノウハウ、測定条件
■AFMを用いた材料および表面科学の手法

AFM(原子間力顕微鏡)を使いこなせない、データ解析が難しい、フォースカーブがよく分からない、
カンチレバーの選択法が分からない、AFMを導入したいが判断しにくい、、、、と悩んでませんか

分析業務はもちろん、研究開発でもAFMを用いるために

AFMでできること・できないこと、電子顕微鏡ではわからなくてもAFMでわかること

形状観察とどまらずに幅広い解析が可能な「ナノテクノロジーの目」と言われるをAFM使いこなすには

試料表面の諸性質(硬さ、導電性、帯電性、加工、相互作用力、付着性など)、微粒子やレジストパターンなどの微小固体の諸性質(付着性、マニピュレーション、帯電性)、特殊測定(液滴形状、ナノバブル観察)・・・・AFMの基本理解および有効活用に向けて

セミナー趣旨

 AFM(原子間力顕微鏡)を所有しているが使いこなせない、AFMのデータ解析が難しい、フォースカーブがよく分からない、カンチレバーの選択法が分からない、AFMを導入したいが判断しにくい、などの様々な悩みを抱えているユーザーが多くなっています。AFMは「ナノテクノロジーの目」とも言われておりSEMなどと同様に一般化しつつあります。また小型で安価なことから企業の基礎開発部門に多く導入されるようになってきました。
 しかしながら、実際に適切で効果的なAFM測定を行うには、基本原理や測定方法、そして解析方法などの基礎を習得する必要があり、測定が不調の場合は原因が不明のままとなり、活用範囲も形状観察程度の利用に留まっているケースが多く見受けられます。AFMを用いれば、試料表面の諸性質(硬さ、導電性、帯電性、加工、相互作用力、付着性など)、微粒子やレジストパターンなどの微小固体の諸性質(付着性、マニピュレーション、帯電性)、特殊測定(液滴形状、ナノバブル観察)など、幅広い解析が効果的に行えます。
 本セミナーでは、汎用性の高い大気中および液中測定用のAFMを中心に豊富なデータに基づき解説します。これからAFMの導入を検討される方、初めてAFMを操作される方にも分かりやすく装置の基本原理や操作方法、データの取得や解析方法についてまで解説します。特に、講師の経験に基づいて、AFMを導入および使用するユーザー側の視点に立って、技術ポイントを分かり易く解説します。また、AFMに関する日頃のトラブル対策や技術開発相談にも対応します。

受講対象・レベル

・AFMによる材料分析業務に携わっている方
・AFMを初めて利用する方
・AFMの導入を検討されている方
・AFMの幅広い分野での利用を希望される方
・AFMの性能をさらに有効活用したいとお考えの方

習得できる知識

・AFMの基礎と基本原理
・AFMを使用する上でのノウハウ
・AFMを用いた材料および表面科学の手法

セミナープログラム

【基礎編】
AFMの適切な利用法 ~原理・基礎知識から測定・解析上の留意点まで~
 ・AFMでできること・できないこと
  ~電子顕微鏡ではわからなくてもAFMでわかること~
 ・AFMの基礎・原理
  ~AFMの基本構成・動作モード等~
 ・表面像の取得方法
  ~得られた像は、実像なのか?~
 ・原子分解能の機構
  ~表面粗さ計と何が違うのか~
 ・ナノスケールの寸法校正
  ~原子配列の観察~
 ・カンチレバーと探針の特徴
  ~どのようにして選ぶのか~
 ・探針のメンテナンス方法
  ~汚染と摩耗対策~
 ・原子間の相互作用力とは
  ~ポテンシャル曲線~
 ・表面の吸着水の影響
  ~相互作用力の湿度依存性~
 ・フォースカーブの理解
  ~針と試料表面との接触~
 ・探針の追従性とノイズ対策
  ~クリアな像を得るには~
 ・カンチレバー上のレーザーポイント変動
  ~感度校正~
 ・ピエゾステージのドリフト対策
  ~位置変動の校正方法~
 ・探針と試料表面との接触変形
  ~Hertz理論、DMT理論、JKR理論~
 ・サンプルの表面粗さ依存性
  ~探針の吸着力と摩擦力~
 ・AFM測定の誤差要因
  ~精度の高い測定のために~
 ・液中での測定方法
  ~簡単なバージョンアップ~
 ・適切なAFMの機種選定方法
  ~用途に合ったオプション設定とは~

【応用編】
AFMの有効な活用法 ~様々な活用展開と分析・評価ノウハウ~
 ・表面エネルギーの測定
  ~表面処理との相関~
 ・表面吸着性の解析
  ~表面の経時変化~
 ・化学力顕微鏡(CFM)への応用
  ~親水/疎水複合構造の解析~
 ・薄膜及び微細パターンの付着性解析
  ~DPAT法~
 ・微粒子の付着性/除去特性
  ~クリーンネス・印刷~
 ・ナノペースト粒子の凝集性
  ~焼成時の粒成長~
 ・微粒子の核成長と平坦性
  ~核生成理論~
 ・固体表面のヤング率測定
  ~固体表面と微細パターンの弾性率解析~
 ・固体表面の動的粘弾性測定
  ~動的粘性と変位応答性の解析~
 ・固体表面の凝集性解析
  ~薄膜の硬さや摩擦特性、表面硬化層の解析~
 ・固体表面の帯電制御
  ~帯電分布と除電性~
 ・微小液滴およびファインバブル観察
  ~識別方法~
 ・微小固体のナノマニピュレーション
  ~移動・加工と凝集性解析~

 (質疑応答) 日頃の技術開発・トラブルの個別相談に応じます

 (付録資料)表面エネルギーによる濡れ・付着性解析


キーワード:原子間力顕微鏡、AFM、フォースカーブ、ドリフト、DPAT法、表面エネルギー、ドリフト、付着性

セミナー講師

アドヒージョン(株) 代表取締役 博士(工学) 河合 晃 氏
国立大学法人長岡技術科学大学 名誉教授
 
三菱電機(株)ULSI研究所にて10年間勤務し、レジスト開発・試作・量産移管・歩留り・工場管理の業務に従事し、半導体デバイスの高精度な表面処理技術開発に従事した。その後、長岡技術科学大学にて勤務し、機能性薄膜、表面界面制御、実装技術、ナノデバイスなどの先端分野の研究を実施している。各種論文査読委員、NEDO技術委員、国および公的プロジェクト審査員などを歴任。大学ベンチャー企業として、アドヒージョン(株)代表取締役社長として企業への技術コンサルティングを推進している。著書33件、受賞多数、原著論文166報、国際学会124件、特許多数、講演会200回以上、日本接着学会評議員、応用物理学会会員、産学連携・技術コンサルティング実績200社以上。

セミナー受講料

※お申込みと同時にS&T会員登録をさせていただきます(E-mail案内登録とは異なります)。

49,500円( E-mail案内登録価格46,970円 )
E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料
2名で 49,500円 (2名ともE-mail案内登録必須/1名あたり定価半額24,750円)

【1名分無料適用条件】
※2名様ともE-mail案内登録が必須です。
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、1名あたり定価半額で追加受講できます。
※請求書(PDFデータ)は、代表者にE-mailで送信いたします。
※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。
 (申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。)
※他の割引は併用できません。

※テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【Live配信/WEBセミナー受講限定】
1名申込みの場合:39,600円 ( E-Mail案内登録価格 37,620円 )
※1名様でLive配信/WEBセミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
※他の割引は併用できません。

受講について

Zoom配信の受講方法・接続確認

  • 本セミナーはビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信となります。PCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
  • 申込み受理の連絡メールに、視聴用URLに関する連絡事項を記載しております。
  • 事前に「Zoom」のインストール(または、ブラウザから参加)可能か、接続可能か等をご確認ください。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー中、講師へのご質問が可能です。
  • 以下のテストミーティングより接続とマイク/スピーカーの出力・入力を事前にご確認いただいたうえで、お申込みください。
    ≫ テストミーティングはこちら

配布資料

  • PDFテキスト(印刷可・編集不可)

関連記事

もっと見る