酸化物半導体材料の特徴と作製・評価技術 ～技術課題・研究動向と応用可能性～

セミナー趣旨

  近年、酸化物半導体薄膜トランジスタはその高移動度・大面積性・低温プロセス性から、有機ELやスマートウオッチ等の次世代ディスプレイに向け活発な研究開発が行われており、量産導入が始まりつつあります。
  本講演では酸化物半導体の形成方法から薄膜トランジスタ（TFT）作製プロセス、特性・信頼性に至る広範囲な解説に加え、酸化物半導体TFTによるフレキシブルデバイス応用や更なる高移動度化に関する最新動向・今後の展望等に関して解説します。

受講対象・レベル

・酸化物半導体材料や薄膜トランジスタに関する初学者ならびにその知見を深めたい方々。
・酸化物半導体薄膜トランジスタの動作原理や特性変動・信頼性の要因に関する知見を深めたい方々。
・材料メーカーや装置メーカーの技術者の方々

セミナープログラム

1.次世代ディスプレイに要求されるトランジスタの性能
　1-1 次世代ディスプレイに必要とされるTFT移動度
　1-2 酸化物TFT研究のこれまでの進展
2.酸化物半導体材料とその薄膜形成技術
   2-1 非晶質酸化物半導体(IGZO)材料とその形成技術
　2-2 酸化物半導体真性欠陥とその電気伝導に与える影響　
3.酸化物半導体薄膜トランジスタ（TFT）技術
   3-1 酸化物TFT作製プロセス
　　・ボトムゲート（ES／BCE）構造
　　・トップゲート（自己整合）構造
　3-2 代表的な酸化物TFT(IGZO TFT)の特性
　3-2 欠陥準位密度がIGZO TFT特性に与える影響
　3-3 酸化物TFTの信頼性
　　・正ゲートバイアスストレス（PBTS）による特性劣化メカニズム
　　・光＋負ゲートバイアスストレス（NBIS）による特性劣化メカニズム
　　・ドレイン電流ストレスによる特性劣化メカニズム
4.酸化物TFTの今後の展望
　4-1 低温プロセスによるフレキシブルデバイスへの展望
　4-2 高移動度化に向けたアプローチと今後の展望
5.Q&A
＜Q&A・質問について＞

＊「Q＆A」への投稿をお願い致します。口頭質問も可能です。希望者のマイクを適宜開放致します。
 （ご質問・反響を歓迎しております。オンラインではありますが、出来る限り双方向的にし、
    応えたいと存じます）
＊セミナー後の講師へのメール質問も可能です。
 （量や内容次第では回答しかねることもございます。ご了承くださいませ）

セミナー講師

 古田 守 先生   高知工科大学 環境理工学群 教授／総合研究所 ナノテクノロジー研究センター長 博士(工学)　

セミナー受講料

【オンラインセミナー（見逃し視聴なし）】：1名41,800円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき30,800円

【オンラインセミナー（見逃し視聴あり）】：1名47,300円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき36,300円

＊学校法人割引；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

受講について

※本講座は、お手許のPCやタブレット等で受講できるオンラインセミナーです。

配布資料・講師への質問等について

• 配布資料はPDF等のデータで送付予定です。受取方法はメールでご案内致します。
  （開催1週前～前日までには送付致します）。
  ※準備の都合上、開催1営業日前の12:00までにお申し込みをお願い致します。
  （土、日、祝日は営業日としてカウント致しません。）
• 当日、可能な範囲で質疑応答も対応致します。
  （全ての質問にお答えできない可能性もございますので、予めご容赦ください。）
• 本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり、
  無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止致します。

下記ご確認の上、お申込み下さい

• PCもしくはタブレット・スマートフォンとネットワーク環境をご準備下さい。
• ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております（20Mbbs以上の回線をご用意下さい）。
  各ご利用ツール別の動作確認の上、お申し込み下さい。
• 開催が近くなりましたら、当日の流れ及び視聴用のURL等をメールにてご連絡致します。

Zoomを使用したオンラインセミナーとなります

• ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております。
  お手数ですが下記公式サイトからZoomが問題なく使えるかどうか、ご確認下さい。
  → 確認はこちら
  ※Skype／Teams／LINEなど別のミーティングアプリが起動していると、Zoomでカメラ・マイクが使えない事があります。お手数ですがこれらのツールはいったん閉じてお試し下さい。
• Zoomアプリのインストール、Zoomへのサインアップをせずブラウザからの参加も可能です。
  ※一部のブラウザは音声（音声参加ができない）が聞こえない場合があります。
  　必ずテストサイトからチェック下さい。
  　対応ブラウザーについて(公式) ;
  　「コンピューターのオーディオに参加」に対応してないものは音声が聞こえません。

申込み時に（見逃し視聴有り）を選択された方は、見逃し視聴が可能です

• 開催5営業日以内に録画動画の配信を行います（一部、編集加工します）。
• 視聴可能期間は配信開始から1週間です。
  セミナーを復習したい方、当日の受講が難しい方、期間内であれば動画を何度も視聴できます。
  尚、閲覧用のURLはメールにてご連絡致します。
  ※万一、見逃し視聴の提供ができなくなった場合、
  （見逃し視聴有り）の方の受講料は（見逃し視聴無し）の受講料に準じますので、ご了承下さい。
  →こちらから問題なく視聴できるかご確認下さい（テスト視聴動画へ）パスワード「123456」