専門家「横田 宗泰」のキーワード解説

横田 宗泰

露光装置開発は30年の経験があります。特に液晶や有機EL用露光装置に精通しています。液晶や有機ELパネルの実生産ラインのフォト技術指導を行いました。露光装置以外の精密機器の技術支援も実施しました。

横田 宗泰

よこた むねやす ／横田技術士事務所

半導体露光装置支える光学技術
半導体露光装置支える光学技術

  【目次】   ♦ 露光技術50年の変遷たどる 1．半導体露光装置:フォトリソグラフィ工程の...

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