専門家「横田 宗泰」プロフィール

横田 宗泰

露光装置開発は30年の経験があります。特に液晶や有機EL用露光装置に精通しています。液晶や有機ELパネルの実生産ラインのフォト技術指導を行いました。露光装置以外の精密機器の技術支援も実施しました。

横田 宗泰

専門家専門家B よこた むねやす / 東京都 / 横田技術士事務所

保有資格 技術士(機械)、APECエンジニア
対応エリア 全国

対応分野

信頼性工学
DR(デザインレビュー)
品質マネジメント
品質マネジメント ISO9001
QC7つ道具
QC7つ道具 ヒストグラム 管理図
固有技術
機械技術 情報技術

経歴

1980年3月 早稲田大学理工学部機械工学課修士課程卒業
1980年4月~1982年3月 株式会社ニコン 測量機設計課
1982年4月~1984年3月 三菱スペースソフトウェア株式会社入社 ソフト製造部
1984年4月~2014年11月 株式会社ニコン
 半導体露光装置(Stepper)のソフト設計課
 液晶・有機ELパネル用露光装置(Stepper、Scanner)ソフト開発課マネジャ
 Roll to Roll露光機開発プロジェクトリーダ
2014年12月~2018年12月  三星ディスプレイ株式会社 常務役員
 有機EL及び液晶パネル生産ラインのPhotoプロセス技術革新TFTリーダ
2019年5月 横田技術士事務所開業

業務実績

・株式会社ニコン ①測量機用エンコーダの周期誤差フーリエ解析と誤差除去
  法発明 ②カム接触揺動レバーの角度変化の線形性実現の為のカム形状
  設計法確立 ③測量機内部の懸架プリズム制振用マグネットダンパの開発
  ④半導体露光装置及び液晶露光装置のメインソフト開発 ⑤ISO9001導入
  に伴うソフト設計業務処理手順書作成と審査対策。導入後内部監査担当
  ⑥ガラス基板の線形・非線形アライメントアルゴリズムの開発 ⑦露光装置
  の各種誤差補正値フィードバックシステムの開発
・三菱スペースソフトウェア ①カルマンフィルタを用いた、レーダによる目標
  追尾ソフトの開発
・三星ディスプレイ ①有機ELパネル生産ラインのPhoto工程の自動化システム
  開発 ②有機EL、液晶パネルのTFT基板のOverlay精度及び生産性向上
  ③露光装置最適運用方法の指導 ④装置診断システムの開発指導
・技術士事務所 ①露光装置の精度改良支援
  ②3Dプリンターの加工エリア拡張技術の開発支援