プラズマによる表面処理技術の基礎と応用

セミナー趣旨

　近年、各種材料表面の高機能化の社会的ニーズの拡大に伴い、従来広く用いられてきた化学薬品を用いたウエットプロセスから環境に優しいドライプロセス技術の開発が求められている。本講座では、最近注目されているドライプラズマプロセスについて、低圧から大気圧までの各種プラズマの生成方法から、それらのプラズマを用いた各種材料（樹脂、金属、芽胞菌、細菌など）の表面処理技術の基礎と応用について、分かりやすく解説する。また、講義では単なる一方向的な講義ではなく、受講者からの質問に対して、その都度答える双方向の講義としたい。
　　

習得できる知識

・各種プラズマの生成法
・低圧および大気圧プラズマによる各種材料表面処理
・低圧および大気圧プラズマによるプラズマによる殺菌・滅菌処理技術
・プラズマ表面機能化ナノ微粒子を用いた環境、バイオ応用
　

セミナープログラム

１．プラズマの生成と制御
　　1-1．プラズマの基本的性質
　　1-2．気体の絶縁破壊
　　1-3．プラズマ生成技術～低圧力から大気圧まで～
　　1-4．プラズマ計測技術

２．プラズマを用いた表面処理技術
　　2-1．エッチング
　　2-2．アッシング
　　2-3．プラズマＣＶＤ、ＰＶＤ
　　2-4．プラズマ表面粗化
　　2-5．プラズマ表面化学修飾
　　2.6．プラズマ滅菌

３．低圧力マイクロ波放電を用いた表面プロセス
　　3-1．マイクロ波プラズマについて
　　3-2．表面波プラズマと体積波プラズマについて
　　3-3．マイクロ波プラズマ実験装置
　　3-4．表面波プラズマを用いた表面プロセスの例
　　3-5．体積波プラズマを用いた表面プロセスの例

４．低圧力ＲＦプラズマを用いた表面プロセス
　　4-1．ＲＦ放電プラズマについて
　　4-2．ＲＦ放電プラズマ装置
　　　　・容量結合型プラズマ装置
　　　　・誘導結合型プラズマ装置
　　4-3．ＲＦ放電プラズマを用いた表面プロセスの例

５．プラズマプロセスを用いた各種微粒子の作製と応用
　　5-1．微粒子の産業応用について
　　5-2．直流アーク放電による各種炭素被覆金属ナノ微粒子の作製
　　5-3．表面高機能化磁性体ナノ微粒子の環境応用（汚染水浄化等）
　　5-4．表面高機能化ナノ微粒子の医療応用（ウイルス、細菌高感度検出等）

６．大気圧プラズマを用いた表面プロセス
　　6-1．大気圧放電プラズマの特徴
　　6-2．誘電体バリア放電
　　6-3．大気圧プラズマジェット
　　6-4．直流アーク放電法による表面修飾ナノ微粒子の作製

７．大気圧放電プラズマを用いた各種プロセス
　　7-1．大気圧プラズマジェットによるポリイミド上への導電性銅薄膜堆積
　　7-2．大気圧プラズマジェットを用いたアルミ表面処理と樹脂密着性向上
　　7-3．バブルを利用した液相中大気圧プラズマについて
　　7-4．細線状大気圧誘電体バリア放電による管内滅菌
　　7-5．大気圧誘電体バリア放電を用いた樹脂包装容器内の滅菌
　　7-6．大気圧誘電体バリア放電を用いたフッ素樹脂材の表面修飾

８．まとめと今後の課題

セミナー講師

静岡大学　名誉教授　電子工学研究所　特任教授　工学博士　永津 雅章 氏
＜ご専門＞
　プラズマ科学、プラズマエレクトロニクス
＜学協会等＞
　応用物理学会、プラズマ・核融合学会
＜ご略歴＞
　昭和57年　名古屋大学大学院工学研究科博士課程単位取得退学
　昭和57年　名古屋大学助手（工学部）
　昭和60年　工学博士（名古屋大学）
　平成元年　 名古屋大学講師（工学部）
　平成3年　 名古屋大学助教授（工学部）
　平成13年　静岡大学教授（工学部）
　平成18年　静岡大学創造科学技術大学院（博士課程）教授
　平成20年　静岡大学創造科学技術大学院　大学院長（平成27年3月まで）
　平成27年　静岡大学総合科学技術研究科（修士課程）教授
　平成28年　静岡大学電子工学研究所教授
　平成30年　静岡大学退職　
　平成30年　静岡大学名誉教授、特任教授、名古屋大学客員教授
　現在に至る

セミナー受講料

55,000円（税込、昼食・資料付）
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