大気圧プラズマの基礎と各種材料の表面処理等への応用

セミナー趣旨

　大気圧プラズマは真空容器や排気設備を必要とせず、また高密度な活性種を生成できるため、産業応用には大変多くのメリットがあります。このため、材料表面の親水化処理、接着性の向上、クリーニング等の分野で急速に利用され始めています。学術的にも、IEEEの国際会議では2005年には1%以下だった大気圧プラズマの発表件数が、近年ではゆうに半数を超えています。しかし、大気圧プラズマの発生や利用法についてはブラックボックス的な部分が多いため、産業応用へのしきいが高いのも事実です。また、どんな装置が所望の処理に適しているのかもよくわかりません。
　そこで本セミナーでは、前半で大気圧プラズマの物理や基本的な装置構成をわかりやすく解説し、後半で講師の最新の研究テーマである、マルチガスプラズマ、温度制御プラズマ、パーティクルフリープラズマなど新しい装置の開発、およびこれらを活かした高速表面処理、接着性改善、酸化膜還元、殺菌処理、環境浄化、皮膚等付着物分析、美容・医療・農業応用などにスポットをあてて研究成果をご紹介します。

受講対象・レベル

大気圧プラズマの利用を考えている方，すでに利用していてもっと効果を上げたい方

習得できる知識

・似ているようで違う，様々な大気圧プラズマ装置
・大気圧プラズマの中で起こっている事
・表面処理，ガス分解，殺菌，医療，分析ほかの応用例
・プラズマ応用のポイント

セミナープログラム

１．大気圧プラズマの基礎
　1-1.なぜ大気圧プラズマ？
　1-2.プラズマの特長
　1-3.様々なプラズマの生成法
　1-4.プラズマ中の原子・分子過程

２．大気圧高温プラズマと応用
　2-1.大気圧高温プラズマ
　2-2.ガス分解処理
　2-3.半導体表面処理

３．各種の大気圧低温プラズマ装置
　3-1.低温プラズマとは
　3-2.ダイレクトプラズマとリモートプラズマ
　3-3.プラズマガス種と生成される活性種
　3-4.温度制御プラズマ
　3-5.大面積のバリア放電プラズマ
　3-6.クリーンルーム対応リニア型プラズマ

４．大気圧低温プラズマの応用例
　4-1.表面処理（接着前処理，酸化膜還元，コーティング等）への応用
　4-2.殺菌・美容・医療・農業分野への応用
　4-3.環境浄化・分析への応用
　4-4.プラズマとバブル，超音波，紫外線，赤外線等のハイブリッド処理

５．大気圧プラズマの有効な利用法と近未来展望

【質疑応答】

キーワード：
大気圧,プラズマ,表面処理,表面改質,材料,半導体,殺菌,食品,研修,講座,セミナー

セミナー講師

東京科学大学　総合研究院　未来産業技術研究所　准教授　博士（工学）　沖野 晃俊 氏

セミナー受講料

55,000円（税込、資料付）
■ 会員の方あるいは新規会員登録していただくと、下記の割引が適用されます。
　・1名申込の場合、55,000円（税込）→44,000円（税込）
　・2名同時申込の場合、合計110,000円（税込）→合計55,000円（税込）
　　　※両名の会員登録が必要です。


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