EUVレジスト材料開発と評価・プロセス技術

EUVリソグラフィーの基礎とプロセス最適化方法・評価方法
「SPIE Advanced Lithography + Patterning 2026」で発表されたEUVに関する最新技術も紹介予定

　 受講可能な形式：【ライブ配信】のみ 

本セミナーでは、EUVレジストの概要とその評価方法に関する基礎知識、EUVリソグラフィーの基礎知識、EUVフォトプロセスの最適化方法、評価方法について解説する。
「SPIE Advanced Lithography + Patterning 2026」(2026年2月23日～26日 US カリフォルニアSanJoseで開催)の聴講報告も行う予定。 

【項目】※クリックするとその項目に飛ぶことができます

    セミナー趣旨

    情報システム社会の発展は目覚ましく、パーソナルコンピュータは今や一人一台を所有する。最近では、スマートフォンが手のひらコンピューティングを可能にするなど、私たちの生活を劇的に変えている。また 、取り扱うデータ量も増大しており、ビッグデータと呼ばれる単一のデータ集合内で数十テラバイトから数ペタバイトの範囲のデータをやり取りする時代が到来している。そこに、IoT(Internet of Things) やIoE(Internet of Everything) と呼ばれる、すべての「モノ」がインターネットにつながることで、自動認識や自動制御、遠隔計測などを行うことが発展してきている。
    これらの発展はメモリやCPU(中央演算処理装置 ) 等の半導体電子デバイスの技術革新によって支えられており、この電子デバイスの技術 革新は 半導体微細加工技術の進展によるものである。現在は、EUVリソグラフィー技術により、20nmレベルの微細加工が可能となっており、本講座では、このEUVリソグラフィー技術の概要とプロセス評価技術について解説する。

    受講対象・レベル

    EUV関連の研究者、技術者。これからEUV材料の研究を始めたい研究者・技術者を対象としています。

    習得できる知識

    ・EUVレジストの概要とその評価方法に関する基礎知識
    ・EUVリソグラフィーの基礎知識
    ・EUVフォトプロセスの最適化方法の習得
    ・EUVフォトプロセスの評価方法の習得

    セミナープログラム

    １．EUVLの概要
    　1.1 EUVLの概要
    　1.2 EUVL用レジスト

    ２．アウトガス評価技術
    　2.1 EUVLレジストのアウトガス評価方法
    　2.2 EUVLレジストのアウトガス評価装置

    ３．EUVレジストの評価技術
    　3.1 EUV透過率測定
    　3.2 ナノパーティクル添加レジストの高感度化
    　3.3 屈折率nk測定
    　3.4 EUV2光束干渉露光

    ４．EUVメタルレジストの評価技術
    　4.1 メタルレジストの概要
    　4.2 EUVメタルレジストのアウトガス分析
    　4.3 EUVメタルレジストの問題点

    ５．EUVフォトレジストと電子線レジストの感度
    ６．「SPIE Advanced Lithography + Patterning 2026」聴講報告（特にEUVに関しての最新技術）

    □ 質疑応答 □

    セミナー講師

    大阪公立大学 大学院 工学研究科 客員教授　関口 淳 氏

    ＜略歴＞
    1983年3月、芝浦工業大学応用化学科卒業。1983年4月、日本ケミテック入社。分析研究所に勤務。1985年4月、住友GCA社に入社。レジスト塗布現像装置のプロセス開発に従事。その後、レジスト解析装置および形状シミュレータのシステム開発に従事。現在、リソテックジャパン㈱専務取締役。2019年4月～立命館大学客員教授、2020年4月～大阪府立大学客員教授、大阪市立大学客員教授、2022年4月～大阪公立大学客員教授。2000年、東京電機大学にて工学博士。応用物理学会会員。高分子学会会員。2016年、精密工学会技術賞。
    専門は、フォトリソグラフィー、バイオミメティクス。論文多数。著書は、「感光性フォトレジスト材料の評価」「リソグラフィー技術・その40年」「ノボラックレジスト・材料とプロセスの最適化」（いずれもS&T出版）。講演多数。

    セミナー受講料

    49,500円

    定価：本体45,000円＋税4,500円
    E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料
    1名分無料適用条件
    ※2名様ともE-Mail案内登録が必須です。
    　2名様以降の受講者は、申込み前にE-Mail案内登録をお済ませください。
    ※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
    ※3名様以上のお申込みの場合、上記１名あたりの金額で受講できます。
    ※受講券、請求書は、代表者に郵送いたします。
    ※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。
    (申込みフォームの通信欄に「請求書１名ごと発行」と記入ください。)
    ※他の割引は併用できません。 

    2名で49,500円 (2名ともE-Mail案内登録必須／１名あたり定価半額24,750円)

     テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】

    1名申込みの場合：受講料 39,600円(E-Mail案内登録価格 37,840円)
    　定価：本体36,000円＋税3,600円
    　E-Mail案内登録価格：本体34,400円＋税3,440円
    ※１名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
    ※お申込みの際、備考欄に【テレワーク応援キャンペーン希望】と記載のうえお申込みください。
    ※他の割引は併用できません。

    ■■■受講人数ごとのお申込み例■■■
    1名で受講の場合：37,840円(税込)　※テレワーク応援キャンペーン/E-mail案内登録の場合
    2名で受講の場合：49,500円(税込)　※2名同時申込みで1名分無料：1名あたり24,750円(税込)

    主催者

    開催場所

    全国

    備考

    配布資料
    ・製本テキスト(開催前日着までを目安に発送)
    　　※セミナー資料は開催日の４～５日前にお申し込み時のご住所へ発送致します。
    　　※間近でのお申込みの場合、セミナー資料の到着が開催日に間に合わないことがございます。

    オンライン配信
    ZoomによるLive配信　►受講方法・接続確認（申込み前に必ずご確認ください）
    アーカイブ配信　►受講方法・視聴環境確認（申込み前に必ずご確認ください）

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    開催日時


    13:00 ～

    受講料

    49,500円（税込）/人

    ※本文中に提示された主催者の割引は申込後に適用されます

    ※銀行振込

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