半導体製造工程におけるPFAS使用工程と対応状況

強化され続けているPFAS規制は半導体産業、
半導体業界に影響をどのような与えているのか、今後与えるのか
現在の対応・代替技術の状況、今後はどのように備えればいいのか、
PFASが半導体製造工程においてどのように使われているかも解説!


▼半導体の技術、市場のトレンドとPFAS規制の関係、PFAS処理と代替材料の動向

▼半導体デバイスメーカー、半導体製造装置メーカー、半導体部材メーカーの取り組み状況、、、


キーワード:PFAS、半導体、前工程、後工程、配管材料


開催日時

 【Live配信受講】2025年12月8日(月)  13:30~16:30
 【アーカイブ配信】2025年12月23日(火)  まで受付(視聴期間:12/23~1/13)

【項目】※クリックするとその項目に飛ぶことができます

    セミナー趣旨

     一般のニュースでもしばしば取り上げられるようになったPFASですが、その規制はますます厳しさを増しています。PFASとは1万種類を超える有機フッ素化合物の総称で、その特性を利用して様々な分野で利用されています。しかし一部のPFASに有害性が確認され、その規制範囲は広がっています。半導体製造においても様々な工程で使用されており、規制動向が注視されています。
     本セミナーではPFASの基礎知識、内外の規制動向を解説し、PFASが用いられている半導体製造工程についてその内容とPFASが用いられている理由、代替技術の開発状況などを解説します。

    セミナープログラム

    1.PFASとは
     1-1 PFAS関連のニュース
     1-2 PFASの種類と性質
     1-3 PFASの用途

    2.PFAS規制の動向
     2-1 POPs条約
     2-2 日本の規制動向
     2-3 欧州の規制動向
     2-4 米国の規制動向

    3.半導体製造におけるPFAS使用工程(前工程)
     3-1 半導体製造方法(前工程)の基礎
     3-2 リソグラフィー
     3-3 ウエットエッチング
     3-4 ドライエッチング
     3-5 配管材料等

    4.半導体製造におけるPFAS使用工程(後工程)
     4-1 半導体製造方法(前工程)の基礎
     4-2 テープ・フィルム類
     4-3 モールド材
     4-4 基板層間膜

    5.PFAS処理と代替材料の動向
     5-1 製品ライフサイクルと人体・環境への影響
     5-2 廃液処理の現状
     5-3 PFASの分析方法
     5-4 代替材料開発動向
     5-5 装置・材料メーカー、デバイスメーカーの対応状況

    6.まとめ

     □質疑応答□

    セミナー講師

    (株)ISTL 代表取締役社長 博士(工学) 礒部 晶 氏

    <ご略歴>
    1984 京都大学工学部原子核工学科修士課程修了
    1984-2002 NECにてLSI多層配線プロセス開発
    2002-2006 東京精密(株)にて執行役員CMPグループリーダー
    2006-2013 ニッタハースにて研究開発GM
    2013-2015 (株)ディスコにて新規事業開発
    2014 九州大学より博士学位取得
    2015-  (株)ISTL CMP関連を中心に技術開発、事業開発アドバイザー
    2018 中小企業診断士

    <その他所属・役職>
    プラナリゼーション研究会幹事
    所属学会:精密工学会、応用物理学会、Electro Chemical Society

    【Webページ】http://​http://www.istlab.co.jp

    セミナー受講料

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    ※2名様ともE-Mail案内登録が必須です。
    ※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
    ※3名様以上のお申込みの場合、1名あたり定価半額で追加受講できます。
    ※請求書(クレジットカード決済の場合は領収書)は、代表者にS&T会員マイページにて発行いたします(PDF)。
    ※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。
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    受講について

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    お申込み済みのセミナー一覧が表示されますので、該当セミナーをクリックしてください。
    (アーカイブ配信は、配信日に表示されます。)

    ≪配布資料≫
    PDFテキスト(印刷可・編集不可)
     ※ライブ配信受講は開催2日前を目安にS&T会員のマイページよりダウンロード可となります。
      なお、アーカイブ配信受講の場合は、配信日になります。


    (備考)※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
        ※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。


    講師のプロフィール

    半導体のことなら前工程から後工程まで幅広い知識を有しております。中でもCMPは専門領域です。社内セミナーから開発支援、技術指導まで様々な対応をいたします。

    礒部 晶

    いそべ あきら / 神奈川県 / 株式会社ISTL

    半導体に関してはデバイスメーカー、装置メーカー、材料メーカーを経験しています。装置・材料開発から、デバイス製造現場の改善、幅広い人脈を活かした顧客紹介など様々なご支援が出来ます。中小企業診断士も有しており、単なる技術指導のみなら...続きを読む

     

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