「表面分析」入門～表面での相互作用、装置の仕組み、データの見方を理解する～

セミナー趣旨

  表面分析は、ナノテクなどの先端技術の開発や、品質管理、トラブル対応、他に欠かせない。近年の表面分析装置の操作性は高いため、マニュアルに従えば、比較的容易に相応の結果が得られることもある。これは、ハード・ソフト両面の高度化の賜物であるが、その一方で、表面分析の基礎が蔑ろにされがちである。その結果、表示されたグラフや数値についての考察が不十分になる、等の問題が生じやすい。
  そこで本セミナーでは、表面分析の入門として、最初に、表面分析と関連が深い現象（相互作用）について説明する。また、相互作用の結果を分析装置に表示するまでの信号の流れ、等を分かり易く解説する。その上で、代表的な表面分析の仕組みと分析結果の例を紹介する。加えて、表面分析の応用として、マッピング、深さ分析について言及する。

受講対象・レベル

・これから表面分析を始める方、または経験の浅い方
・表面分析の経験はあるが、別の表面分析に携わる予定の方
・表面分析の基礎となる相互作用を理解したい方
・表面分析装置の仕組みに関心のある方
　など

習得できる知識

・表面分析の全体像
・代表的な表面分析の原理、特徴
・代表的な表面分析の位置付け
・表面分析のデータとその解釈に関する基礎知識
　など 

セミナープログラム

Ⅰ　表面分析の概要
　１．はじめに
　２．代表的な表面分析装置のフロー
Ⅱ　表面分析の構成要素
　１．入射
　　1-1 X線
　　1-2 電子
　　1-3 イオン
　２．相互作用
　　2-1 X線と表面の相互作用
　　　　　吸収、蛍光X線、XRD、等
　　2-2 電子と表面の相互作用
　　　　　吸収、特性X線、等
　　2-3 イオンと表面の相互作用
　　　　　吸収、スパッタリング、ラザフォード散乱、等
　３．認識
　　3-1 検出器
　　3-2 表示
　４．その他
　　4-1 真空
　　4-2 試料ステージ
Ⅲ　表面形状観察
　１．光学顕微鏡
　２．SEM
　３．レーザー顕微鏡
　４．SPM
Ⅳ　表面元素等分析
　１．XRF
　２．XPS
　３．AES
　４．S-SIMS
Ⅴ　表面分析の応用
　１．マッピング
　　1-1 SEM-EDS
　　1-2 EPMA
　　1-3 AES
　　1-4 S-SIMS
　　1-5 XRF
　　1-6 XPS
　２．深さ分析
　　2-1 D-DIMS
　　2-2 スパッタリングの併用
　　2-3 RBS
Ⅵ　補足
Ⅶ　まとめ
＜質疑応答＞ 

＊途中、お昼休みや小休憩を挟みます。

セミナー講師

 合同会社I・R・D CEO 博士（理学）　古田 啓 氏

■ご略歴
1992年から民間企業4社に勤務。非破壊検査、薄膜形成等様々な技術開発・研究開発を担当。
また、市場調査をふまえた新技術の開発、上市、生産部門への技術移管、技術支援、知財管理、営業支援、等にも従事。
2024年1月、経営・技術のコンサルティングファーム（合同会社I・R・D）を設立、現在に至る。
第1種放射線取扱主任者、中小企業診断士、1級知的財産管理技能士（特許、ブランド）。
■ご専門および得意な分野・ご研究
機器分析、放射線計測、表面処理、MOT（技術経営）、知財管理

セミナー受講料

【オンライン受講（見逃し視聴なし）】：1名 50,600円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき39,600円

【オンライン受講（見逃し視聴あり）】：1名 56,100円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき45,100円

＊学校法人割引：学生、教員のご参加は受講料50％割引。

受講について

• 配布資料はPDF等のデータで送付予定です。受取方法はメールでご案内致します。
  （開催1週前～前日までには送付致します）
  ※準備の都合上、開催1営業日前の12:00までにお申し込みをお願い致します。
  （土、日、祝日は営業日としてカウント致しません。）
• 受講にあたってこちらをご確認の上、お申し込みください。
• Zoomを使用したオンラインセミナーです
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• 申込み時に（見逃し視聴有り）を選択された方は、見逃し視聴が可能です
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