プラズマエッチング装置・プロセスにおける不良発生の検知技術と部材のプラズマ耐性向上技術

セミナー趣旨

受講対象・レベル

半導体製造工程におけるプラズマプロセスに携わっている方など、本テーマに興味のある方ならどなたでも受講可能です。

習得できる知識

プラズマエッチングプロセスにおける異常検出やプロセスモニタリング手法について知識を習得出来ます。
・パーティクルのその場検出手法
・異常放電のその場検出手法
・プロセスチャンバー状態診断手法
・アコースティックエミッション(AE)を用いた異常検知手法
・プラズマプロセス装置チャンバー内部品部材のプラズマ耐性評価　など

セミナープログラム

セミナー講師

(国研)産業技術総合研究所　センシングシステム研究センター　複合センシングデバイス研究チーム　
博士(工学)　笠嶋 悠司 氏

略歴
2010年独立行政法人産業技術総合研究所入所
(2015年4月の法改正に伴い現名称は国立研究開発法人産業技術総合研究所)
弊所入所以来、九州センターにおいて半導体量産ラインにおける製造効率向上に資するモニタリング手法の研究開発に取り組んでおります。具体的には、プラズマエッチング工程におけるパーティクル検出や異常放電検知など、量産現場で発生しているプロセス異常のその場検出手法やプロセス装置の状態モニタリング技術の研究開発を進めております。
専門
高電圧工学、プラズマ理工学

セミナー受講料

※お申込みと同時にS&T会員登録をさせていただきます(E-mail案内登録とは異なります)。

55,000円( E-mail案内登録価格52,250円 )
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2名で 55,000円 (2名ともE-mail案内登録必須／１名あたり定価半額27,500円)

【1名分無料適用条件】
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※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、１名あたり定価半額で追加受講できます。
※請求書（PDFデータ）は、代表者にE-mailで送信いたします。
※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。
　(申込みフォームの通信欄に「請求書１名ごと発行」と記入ください。)
※他の割引は併用できません。

 テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】

1名申込みの場合：受講料 41,800円(E-Mail案内登録価格 39,820円 )
※１名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
※他の割引は併用できません。

受講、配布資料などについて

Zoom配信の受講方法・接続確認

• 本セミナーはビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信となります。PCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
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• 事前に「Zoom」のインストール(または、ブラウザから参加)可能か、接続可能か等をご確認ください。
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アーカイブ配信の受講方法・視聴環境確認

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配布資料
PDFテキスト(印刷可・編集不可)

その他注意事項
※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。