半導体洗浄基礎およびCMP後洗浄技術セミナー【1】半導体洗浄技術の基礎とその応用【2】CMP後洗浄技術の基礎とウェハ表面状態の評価手法

セミナー趣旨

  近年、半導体の微細化は、ALDやALEによる原子レベルの成膜・加工に加えて、EUV光源の開発、半導体リソグラフィーへの適用により、nmレベル加工を目標に進められている。配線プロセス回りを例にとると、More Mooreの流れではCo、Ruのような、腐食しやすいあるいは研磨しにくい材料が、またMore than Mooreの流れではウェハ直接接合技術が導入され、これらがCMPプロセスに対して新たなチャレンジをもたらしている。一方で、全ての配線層において高機能洗浄プロセスの確立が極めて重要となり、従来の経験と勘ではなく物理・化学の原理・原則に基づいた界面制御を行うための洗浄技術の適用が求められている。
  本講座の前半では、半導体洗浄技術の基礎を概説するとともに、CMPおよび後洗浄プロセスで起きているトレンドについて俯瞰する。また本講座後半では、後洗浄の技術に焦点をあて、洗浄剤成分・配合といった観点から、さらには機能設計をする上で重要な評価・解析手段について、実例を交えて紹介する。

受講対象・レベル

・半導体チップメーカ、半導体装置メーカ、
・材料サプライヤでウェットまたはCMP関連業務に携わる初学者の方、中堅で知識を整理したい方。
・特に洗浄工程や表面分析に興味のある方。あるいは当該分野で幅広い知識を得たい営業担当の方。

習得できる知識

・半導体洗浄技術の基礎
・CMPおよび後洗浄技術のトレンド
・洗浄メカニズムの理解と洗浄剤の機能設計技術
・洗浄性、洗浄機能を評価する分析手法

セミナープログラム

1．半導体洗浄の基礎
　1.1　半導体ロードマップと洗浄対象
　1.2　半導体表面の電子化学
　1.3　ウェット洗浄に求められる機能と課題
2．半導体表面の汚染除去
　2.1　パーティクル除去
　2.2　有機物除去
　2.3　金属（メタル）除去
　2.4　金属の電気化学的付着及び抑制
3．CMP後洗浄剤技術
　3.1　CMPプロセス
　3.2　CMP後洗浄とは
　3.3　CMP後洗浄におけるトレンド
4．CMP後洗浄剤の機能設計
　4.1　洗浄対象
　4.2　洗浄課題
　4.3　洗浄メカニズム
　4.4　洗浄剤成分と配合設計
　4.5　酸性洗浄剤とアルカリ性洗浄剤の比較
5．洗浄表面の評価技術
　5.1　製造プロセスにおけるCMP後洗浄剤の性能評価
　5.2　砥粒除去性の評価
　5.3　残渣除去性の評価
　　　　(a) 残渣溶解試験
　　　　(b) 水晶振動子マイクロバランス（QCM）解析
　　　　(c) Open circuit potential (OCP) 測定
　　　　(d) ToF-SIMS
　5.4　腐食評価、表面の酸化状態の解析
　　　　(a) XPS
　　　　(b) SERA（連続電気化学的還元分析）
　　　　(c) AFM/KFM
　　　　(d) 電気化学測定　Tafel Plot

セミナー講師

三菱ケミカル(株) インフォメーション＆エレクトロニクス本部 戦略企画部 グループ長 博士(工学) 　河瀬 康弘 先生
三菱ケミカル(株) Science & Innovation Center 主席研究員　竹下 寛 先生

●河瀬先生
【ご略歴】
東北大学大学院工学研究科電子工学終了（工学博士）
三菱化成に入社後、半導体用フォトレジスト開発、ウエットケミカルの開発、複合材料の開発を経て、
現在は本社で次世代半導体材料の戦略・企画に従事
【ご専門】
有機・高分子材料設計／フォトレジスト開発
表面・界面制御／洗浄剤・エッチャント・めっき液・化成液の開発
ナノ粒子設計／ゾル・ゲル粒子のプロセス開発
【本テーマ関連学協会でのご活動】
International Interconnect Technology Conference (IITC) Work Shop Chair

●竹下先生
【ご略歴】
2001年　京都大学大学院理学研究科化学課程修了（理学修士）
同年三菱化学（株）入社
同社分析部門、神奈川科学技術アカデミー派遣研究員、
三菱化学メディア（株）を経て、半導体製造プロセス材料の開発に携わる
【ご専門】
情報電子分野の材料設計および機能評価・解析
【本テーマ関連学協会でのご活動】
Advanced Metallization Conference（ADMETA） 論文委員

セミナー受講料

【オンラインセミナー（見逃し視聴なし）】：1名36,300円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき25,300円

【オンラインセミナー（見逃し視聴あり）】：1名41,800円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき30,800円

＊学校法人割引；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

受講について

※本講座は、お手許のPCやタブレット等で受講できるオンラインセミナーです。

配布資料・講師への質問等について

• 配布資料は、印刷物を郵送で送付致します。
  お申込の際はお受け取り可能な住所をご記入ください。
  お申込みは4営業日前までを推奨します。
  それ以降でもお申込みはお受けしておりますが（開催1営業日前の12:00まで）、
  テキスト到着がセミナー後になる可能性がございます。
• 当日、可能な範囲で質疑応答も対応致します。
  （全ての質問にお答えできない可能性もございますので、予めご容赦ください。）
• 本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり、
  無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止致します。

下記ご確認の上、お申込み下さい

• PCもしくはタブレット・スマートフォンとネットワーク環境をご準備下さい。
• ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております（20Mbps以上の回線をご用意下さい）。
  各ご利用ツール別の動作確認の上、お申し込み下さい。
• 開催が近くなりましたら、当日の流れ及び視聴用のURL等をメールにてご連絡致します。

Zoomを使用したオンラインセミナーとなります

• ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております。
  お手数ですが下記公式サイトからZoomが問題なく使えるかどうか、ご確認下さい。
  → 確認はこちら
  ※Skype／Teams／LINEなど別のミーティングアプリが起動していると、Zoomでカメラ・マイクが
• 使えない事があります。お手数ですがこれらのツールはいったん閉じてお試し下さい。
• Zoomアプリのインストール、Zoomへのサインアップをせずブラウザからの参加も可能です。
  ※一部のブラウザは音声（音声参加ができない）が聞こえない場合があります。
  　必ずテストサイトからチェック下さい。
  　対応ブラウザーについて(公式) ;
  　「コンピューターのオーディオに参加」に対応してないものは音声が聞こえません。

申込み時に（見逃し視聴有り）を選択された方は、見逃し視聴が可能です

• 開催5営業日以内に録画動画の配信を行います（一部、編集加工します）。
• 視聴可能期間は配信開始から1週間です。
  セミナーを復習したい方、当日の受講が難しい方、期間内であれば動画を何度も視聴できます。
  尚、閲覧用のURLはメールにてご連絡致します。
  ※万一、見逃し視聴の提供ができなくなった場合、
  （見逃し視聴有り）の方の受講料は（見逃し視聴無し）の受講料に準じますので、ご了承下さい。
  →こちらから問題なく視聴できるかご確認下さい（テスト視聴動画へ）パスワード「123456」