洗浄技術と洗浄プロセス最適化の総合知識

１．洗浄の基礎
　1.1 洗浄は必要か
  1.2 汚れの種類と洗浄工程
  1.3 洗浄方法選定のポイント
  1.4 湿式洗浄液の例

２．湿式洗浄の除去メカニズム
　2.1 ５つの基本工程と３つの除去メカニズム
　　2.1.1 濡れ
　　2.1.2 除去
　　　・剥離、エッチング
　　　・溶解
　　　・分解
　　2.1.3 分散、再付着防止
　　2.1.4 排出（リンス）
　　2.1.5 乾燥
　2.2 水系洗浄
　　2.2.1 洗浄剤について
　　　・界面活性剤と酸、アルカリの働き
　　　・DLVO理論応用による汚れ剥離と再付着防止
　　　・電位 - pH図 応用によるエッチング
　　2.2.2 排出（リンス）
　　　・PIV応用による排出効率向上
　　2.2.3 乾燥、除電
　2.3 準水系洗浄、非水系洗浄、エマルジョン洗浄
　　2.3.1 洗浄剤について
　　　・ハンセン溶解度パラメーター応用による溶剤選定
　　2.3.2 排出（リンス）
　　2.3.3 乾燥、除電
　2.4 洗浄液選定方法の例
　2.5 機能水洗浄
　 2.5.1 ガス溶解水洗浄
　　  ・RCA洗浄の代替
　　2.5.2 電解水洗浄

３．湿式洗浄装置、治具
　3.1 超音波（メガソニック）
　　3.1.1超音波洗浄メカニズム
　　3.1.2 異物大きさと周波数の目安
　  3.1.3 超音波洗浄の改善
  3.2 その他の機械力印加洗浄
　  3.2.1 スクラブ洗浄
　  3.2.2 ジェットスプレー洗浄
　  3.2.3 二流体シャワー洗浄
 3.3 治具　　　　
　　3.3.1 治具の種類
　  3.3.2 使用時の注意点　  

４．乾式洗浄の除去メカニズム
　4.1 プラズマ洗浄
　4.2 UV洗浄、オゾン洗浄
　4.3 レーザー洗浄
　4.4 アイス洗浄、ドライアイス洗浄、エアロゾル洗浄
　4.5 コロナ、光による除電

５．（乾式+湿式）洗浄の除去メカニズム
　5.1 アッシング → 熱硫酸洗浄
　5.2 UV → オゾン水洗浄
　5.3 オゾンガス → 水洗浄

６．洗浄不良と対策
　6.1 洗浄液選定起因の不良
　6.2 洗浄液管理起因の不良
　6.3 同一洗浄液での異材質混合流動起因の不良
　6.4 純水起因の不良
　6.5 乾式洗浄での再デポ起因の不良
　6.6 その他の不良対策方法
　6.7 不良原因確認と対応方法
　　6.7.1 陥りがちな悪い対応例 
　  6.7.2 良い対応例  

７．高品質洗浄への取り組み
　7.1 ５つの基本工程の評価と改善（濡れ、除去、分散、排出、乾燥）
　7.2 超音波洗浄の改善
　7.3 特殊形状の製品の洗浄
　7.4 洗浄コスト削減のために

８．洗浄工程の管理
　8.1 管理のポイント
　8.2 洗浄液や純水の管理
　8.3 装置の管理
　8.4 日々の記録・解析

　　□質疑応答□