【中止】表面分析を活用した電子部品の不具合観察・解析と不良対策～SEM、EDS/EPMAの基礎から、取得情報を最大化するためのポイントまで～

セミナー趣旨

　本テーマでは、不具合箇所の解析において、比較的身近な表面観察・分析装置であるＳＥＭを中心として、ＥＤＳ／ＥＰＭＡの活用について、その原理・特徴、得手不得手を明らかにしながら、観察・分析で得られる情報量の最大化・高度化のためのノウハウをお伝えします。また、不具合箇所断面の鏡面研磨方法について、具体的な作業手順・ポイントについて解説いたします。さらには、他の有効な解析手法についても説明いたします。また、解析結果を特許出願～登録に繋げた事例を紹介いたします。

受講対象・レベル

不具合解析でSEM/EDSを使用しているが、更に情報量の最大化、高度化を目指している方

必要な予備知識

SEM等表面分析装置メーカのホームページでの技術解説を参照されることをお勧めします。

習得できる知識

・SEM/EDX、EPMAの基礎知識
・不具合解析での断面研磨観察のノウハウ
・合わせて活用すると有効な解析手段
   など

セミナープログラム

1．SEMを使いこなし方
　1-1　破断面だけの観察では情報が限られる
　1-2　上（一方向）からだけの観察では本来見えるものも逃してしまう
　1-3　加速電圧で見え方が全然違う
　1-4　スケールの信頼性を確かめ方
2．EDS（EDX）を活用する
　2-1　分析方法の得手不得手＜EDSとWDS＞
　　　（主元素が目立って、微量成分は見えにくい）
　2-2　得られているＸ線情報は表面のピンポイントからではない
　2-3　定量性・マッピングの精度を上げる方法
3．EPMA(WDS/WDX)元素分析で補完
　3-1　微量成分の高感度検出と定量性向上（EDSの欠点を補う）
　3-2　線分析の活用＜界面・境界の情報を得る＞
4．分析箇所の特定と試料の鏡面研磨
　4-1　観察/分析箇所（断面研磨箇所）の決定方法
　4-2　分析・解析すべき試料の準備
　4-3　樹脂に埋め込んで鏡面研磨
　4-4　具体的研磨手順・方法
5．SEM・EDSに基づく不良対策
6．様々な解析手段活用で総合的判断
　6-1　マイクロフォーカスＸ線透視像
　6-2　超音波探傷／超音波イメージング
　6-3　その他
7．解析結果からの特許出願
＜質疑応答＞

■ご講演中のキーワード：
   不具合対策、表面分析、SEM、EDS、EDX、EPMA、断面研磨

＊途中、小休憩を挟みます。

セミナー講師

 栗原 光一郎 先生   栗原光技術士事務所　代表　
 技術士（化学部門・総合技術監理部門）

セミナー受講料

【オンライン受講：見逃し視聴なし】：1名41,800円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき30,800円

【オンライン受講：見逃し視聴あり】：1名47,300円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき36,300円

＊学校法人割引；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

受講について

※本講座は、お手許のPCやタブレット等で受講できるオンラインセミナーです。

配布資料・講師への質問等について

• 配布資料はPDF等のデータで送付予定です。受取方法はメールでご案内致します。
  （開催1週前～前日までには送付致します）。
  ※準備の都合上、開催1営業日前の12:00までにお申し込みをお願い致します。
  （土、日、祝日は営業日としてカウント致しません。）
• 当日、可能な範囲で質疑応答も対応致します。
  （全ての質問にお答えできない可能性もございますので、予めご容赦ください。）
• 本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり、
  無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止致します。

下記ご確認の上、お申込み下さい

• PCもしくはタブレット・スマートフォンとネットワーク環境をご準備下さい。
• ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております（20Mbbs以上の回線をご用意下さい）。
  各ご利用ツール別の動作確認の上、お申し込み下さい。
• 開催が近くなりましたら、当日の流れ及び視聴用のURL等をメールにてご連絡致します。

Zoomを使用したオンラインセミナーとなります

• ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております。
  お手数ですが下記公式サイトからZoomが問題なく使えるかどうか、ご確認下さい。
  → 確認はこちら
  ※Skype／Teams／LINEなど別のミーティングアプリが起動していると、Zoomでカメラ・マイクが使えない事があります。お手数ですがこれらのツールはいったん閉じてお試し下さい。
• Zoomアプリのインストール、Zoomへのサインアップをせずブラウザからの参加も可能です。
  ※一部のブラウザは音声（音声参加ができない）が聞こえない場合があります。
  　必ずテストサイトからチェック下さい。
  　対応ブラウザーについて(公式) ;
  　「コンピューターのオーディオに参加」に対応してないものは音声が聞こえません。

申込み時に（見逃し視聴有り）を選択された方は、見逃し視聴が可能です

• 開催5営業日以内に録画動画の配信を行います（一部、編集加工します）。
• 視聴可能期間は配信開始から1週間です。
  セミナーを復習したい方、当日の受講が難しい方、期間内であれば動画を何度も視聴できます。
  尚、閲覧用のURLはメールにてご連絡致します。
  ※万一、見逃し視聴の提供ができなくなった場合、
  （見逃し視聴有り）の方の受講料は（見逃し視聴無し）の受講料に準じますので、ご了承下さい。
  →こちらから問題なく視聴できるかご確認下さい（テスト視聴動画へ）パスワード「123456」