＜ダイヤモンド＝究極の半導体＞基礎から応用まで ダイヤモンドウェハの大口径化、高品質化と半導体デバイスの最近の進展

セミナー趣旨

  近年、地球温暖化が社会問題になり、SDGs実現のため、省エネルギー、大電力化が可能なバンドギャップが広い、ワイドギャップ半導体に注目が集まっている。またBeyond5G用の高周波パワーデバイスとしても期待が集まっている。とりわけダイヤモンド半導体は、最もワイドギャップで、究極の半導体ともよばれ最高性能が予測されている。
  本セミナーでは、ダイヤモンド半導体、パワー半導体の基礎からはじめ、最近、急速に開発が進む大口径（現在1インチ）、高品質のダイヤモンド半導体ウェハと新動作原理のダイヤモンド半導体デバイスの解説を行う。

受講対象・レベル

電機メーカー、素材メーカー、化学メーカー、半導体製造装置メーカーの方、半導体商社の方、国研、大学などの
研究者の方、半導体やパワーエレクトロニクスに興味のある方

必要な予備知識

本テーマにご興味のある方ならどなたでも歓迎します。
参加者のバックグランドに応じて、文系の方にもわかりやすく、解説いたします。

習得できる知識

・ダイヤモンドがパワー半導体として期待される理由
・大口径／高品質ダイヤモンド半導体ウェハ技術の現状と課題
・ダイヤモンド半導体デバイス技術の現状と課題

セミナープログラム

1．ダイヤモンド半導体の基礎知識
　　　1）ダイヤモンドの構造的性質
　　　2）ダイヤモンドの電子物性

2．ダイヤモンドの結晶成長の基礎知識
　　　1）様々な結晶成長方法
　　　2）CVD成長法　
　　　3）ヘテロエピタキシャル成長法

3．パワー半導体デバイスの基礎知識
　　　1）パワー回路とパワー半導体デバイス
　　　2）高周波パワー半導体デバイス
　　　3）ダイヤモンドがパワー半導体に優れている理由

4．ダイヤモンド半導体ウェハの結晶成長の現状
　　　1）背景－従来の技術
　　　2）ヘテロエピタキシャル結晶成長方法
　　　3）ウェハ作製方法
　　　4）X線回折結果
　　　5）電子顕微鏡観察結果
　　　6）結晶欠陥評価
　　　7）結晶成長機構
　　　8）まとめ
　　　　
5．ダイヤモンド半導体デバイスの現状
　　　1）背景－従来の技術
　　　2）作製方法
　　　3）デバイス特性
　　　　　a) DC特性
　　　　　b) 高電圧特性
　　　　　c) 考察
　　　4）まとめ

6．まとめ
　　　1）まとめ
　　　2）今後の課題

セミナー講師

 嘉数 誠 先生   佐賀大学 大学院 理工学研究科　教授 博士（工学）

セミナー受講料

【オンラインセミナー（見逃し視聴なし）】：1名41,800円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき30,800円

【オンラインセミナー（見逃し視聴あり）】：1名46,200円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき35,200円
＊学校法人割引；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

受講について

※本講座は、お手許のPCやタブレット等で受講できるオンラインセミナーです。

配布資料・講師への質問等について

• 配布資料はPDF等のデータで送付予定です。受取方法はメールでご案内致します。
  （開催1週前～前日までには送付致します）。
  ※準備の都合上、開催1営業日前の12:00までにお申し込みをお願い致します。
  （土、日、祝日は営業日としてカウント致しません。）
• 当日、可能な範囲で質疑応答も対応致します。
  （全ての質問にお答えできない可能性もございますので、予めご容赦ください。）
• 本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり、
  無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止致します。

下記ご確認の上、お申込み下さい

• PCもしくはタブレット・スマートフォンとネットワーク環境をご準備下さい。
• ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております（20Mbbs以上の回線をご用意下さい）。
  各ご利用ツール別の動作確認の上、お申し込み下さい。
• 開催が近くなりましたら、当日の流れ及び視聴用のURL等をメールにてご連絡致します。

Zoomを使用したオンラインセミナーとなります

• ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております。
  お手数ですが下記公式サイトからZoomが問題なく使えるかどうか、ご確認下さい。
  → 確認はこちら
  ※Skype／Teams／LINEなど別のミーティングアプリが起動していると、Zoomでカメラ・マイクが使えない事があります。お手数ですがこれらのツールはいったん閉じてお試し下さい。
• Zoomアプリのインストール、Zoomへのサインアップをせずブラウザからの参加も可能です。
  ※一部のブラウザは音声（音声参加ができない）が聞こえない場合があります。
  　必ずテストサイトからチェック下さい。
  　対応ブラウザーについて(公式) ;
  　「コンピューターのオーディオに参加」に対応してないものは音声が聞こえません。

申込み時に（見逃し視聴有り）を選択された方は、見逃し視聴が可能です

• 開催5営業日以内に録画動画の配信を行います（一部、編集加工します）。
• 視聴可能期間は配信開始から1週間です。
  セミナーを復習したい方、当日の受講が難しい方、期間内であれば動画を何度も視聴できます。
  尚、閲覧用のURLはメールにてご連絡致します。
  ※万一、見逃し視聴の提供ができなくなった場合、
  （見逃し視聴有り）の方の受講料は（見逃し視聴無し）の受講料に準じますので、ご了承下さい。
  →こちらから問題なく視聴できるかご確認下さい（テスト視聴動画へ）パスワード「123456」