ナノインプリント の基礎と 実際の 量産プロセス および応用事例 〜材料，プロセス，装置の基本から量産適用に向けた課題解決まで〜

ナノインプリントの初歩から量産プロセスまで丁寧に解説！
量産適用する際に課題となる離型処理やカップリング処理の改善例も紹介！

講師

（株）日立製作所　主管研究員　博士（工学） 宮内 昭浩 先生

受講料

　1名41,040円(税込（消費税8％）、資料付)
　＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき30,240円
　　　　　 ＊学校法人割引；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

セミナーポイント

　本講義ではナノインプリントの初歩から実際の量産プロセスまで解説する。原版の作製方法から熱ナノインプリントと光ナノインプリントで用いられるモールド，樹脂材料，離型処理，カップリング処理，装置を解説する。特に実際に量産適用する際に課題となる離型処理やカップリング処理の改善例も紹介する。応用分野は，光学部品，バイオデバイス，エネルギーデバイスと多岐に亘る事例を解説する。

■この講座を受講して得られる情報・知見：
　ナノインプリントをこれから始める方におかれては，短時間にナノインプリントの基礎を取得できる。ナノインプリント技術を応用するには，材料，プロセス，装置，さらには対象とするデバイスの設計など，非常に広範な技術的知識を要する。既にナノインプリントによって研究開発を開始している方にとっては，知識の補完になると共に，実際のプロセス事例の解説を通じて抱えている課題の解決につながる内容を盛り込んでいる。

セミナー内容

１　はじめに　〜ナノインプリントとは〜

２　原版の作製方法
　2.1　原版の加工
　　(1)フォトリソグラフィ
　　(2)自己組織化
　　(3)陽極酸化
　　(4)干渉露光
　2.2　離型処理
　　(1)離型層の構造
　　(2)離型層の劣化
　　(3)離型層の修復

３　熱ナノインプリント
　3.1　熱ナノインプリントプロセス
　3.2　熱ナノインプリント用樹脂材料
　3.3　熱ナノインプリント用モールド
　3.4　熱ナノインプリント用装置
　3.5　熱ナノインプリントによる量産化
　　(1)プロセスフロー
　　(2)離型不良の防止と解析

４　光ナノインプリント
　4.1　光ナノインプリントプロセス
　4.2　光ナノインプリント用材料
　　(1)光硬化性樹脂
　　(2)カップリング処理
　4.3　光ナノインプリント用モールド
　　(1)ガラスモールド
　　(2)ソフトモールド
　4.4　光ナノインプリント用装置
　　(1)並行平板型装置
　　(2)ロールプレス装置
　4.5　光ナノインプリントによる量産化
　　(1)プロセスフロー
　　(2)ソフトモールドの試作
　　(3)カップリング処理による歩留まり向上
　　(4)ドライエッチング

５　ナノインプリントの応用
　5.1　光学部品
　　(1)反射防止
　　(2)偏光板
　　(3)マイクロレンズ
　5.2　バイオデバイス
　　(1)細胞培養
　　(2)免疫分析チップ
　5.3　エネルギーデバイス
　　(1)燃料電池
　　(2)太陽電池

補足
　A１．ソフトモールドの転写精度
　A２．光硬化性樹脂のナノ空間での粘度

＜質疑応答＞