表面･界面状態の分析技術

～ 表面･界面測定法の種類、原理、測定の実際 ～

形態の観察、元素の分析、
物質の同定、化学結合状態の解析！

★ 企業の研究開発や品質管理でよく用いられる表面･界面の分析手法にフォーカスして解説！

講師

(国研)産業技術総合研究所　招へい外来研究員　野副 尚一 氏

【経歴】
(国研)産業技術総合研究所、筑波大学、中央大学　東京理科大学、
シエンタ・オミクロン(株)を経て現職

受講料

1名につき 50,000円（消費税抜、昼食・資料付）
〔1社2名以上同時申込の場合のみ1名につき45,000円〕

プログラム

【講座の趣旨】
　試料の表面・界面の形態観察、元素分析、物質の同定・化学結合の状態解析を行う数多くの手法が存在する。本講座では、これらの手法を原理から統一的に理解し、試料に応じた最適な分析手法を選択するための指針を与える。また、特に広く用いられている光電子分光法、振動分光法、原子間力顕微鏡による試料測定の実際について紹介する。 
 
１．表面・界面分析技術
　1.1 物質・材料と表面・界面
　　(1)原子から構築される表面・界面
　　(2)固体の基本的性質
　　(3)機器分析と表面・界面分析
　1.2 プローブからみた表面・界面分析
　　(1)光をプローブとする手法
　　(2)電子をプローブとする手法
　　(3)イオンをプローブとする手法
　1.3 波としてのプローブ
　　(1)X線回折
　　(2)電子線回折
　1.4 局所分析
　　(1)投影型顕微鏡
　　(2)走査型顕微鏡
　1.5 表面・界面分析と真空技術

２.　各論（１）光電子分光法
　2.1 光電子分光法事始め
　2.2 電子の分光
　2.3 真空紫外光電子分光法　
　2.4 X線光電子分光法
　2.5 光電子分光法のニューウエーブ

３．各論（２）振動分光法
　3.1 振動スペクトルによる化学結合の状態解析
　3.2 赤外分光法
　3.3 ラマン分光法

４．各論（３）走査プローブ顕微鏡
　4.1 走査型トンネル顕微鏡
　4.2 原子間力顕微鏡
　4.3 走査プローブ顕微鏡のニューウエーブ

【質疑応答】

■ スケジュール
　10:00-11:10　表面・界面分析技術
　11:20-12:30　表面・界面分析技術（続き）
　12:30-13:10　昼食
　13:10-14:20　各論（１）光電子分光法
　14:30-15:40　各論（２）振動分光法
　15:50-17:00　各論（３）原子間力顕微鏡