研磨プロセスの見える化と最適化およびアシスト加工-研磨のプロセスでは何が起こっているのか-
～パッド、スラリー、コンディショナの作用機構の解明と研磨メカニズムの理解～
受講可能な形式：【ライブ配信】のみ
■CMP等の研磨プロセスとその副資材であるパッド、スラリー、コンディショナにも焦点をあてて解説
■パッド、スラリー、コンディショナの役割、作用機構、相互関係、研磨レートとの関連、、、、
■研磨はどう進行するのか、何に影響を受けるのか
■研磨のメカニズムを知り、副資材の使い方を最適化し、設計・開発、高精度化につなげる
セミナー趣旨
（1）パッドの役割：パッドのアスペリティが研磨（特に研磨速度）にどのような影響を及ぼすか、をお話しします。さらに、そのアスペリティを適切に評価できる手法についても解説します。
（2）コンディショナの役割：パッドのアスペリティを適切に作る副資材がコンディショナです．コンディショナにも様々なタイプがありますが，4種類のコンディショナを例にしながら，それらの作用機構を解説します。
（3）スラリーの役割：研磨プロセスではパッドとウェーハの接触界面へ適切にスラリーが運搬され（流れ込み）、それに含まれる微細粒子によって研磨が進行します。それでは、そのスラリーの運搬はどのように行われているのか、について解説します。
それをマクロスケールで見た場合、ミクロスケールで見た場合を比較して，どのような現象が接触界面で行われているのか、を解説します．
また、これらの知見に基づいて、見える化技術の応用事例として、AI導入研磨装置の開発や，定盤と研磨ヘッドの負荷電流のみの情報から、リアルタイムで研磨レートと摩擦係数を同時予測する手法についてもご紹介します。
さらに、より高い研磨速度を確保するために開発してきたアシスト加工、とりわけオゾンガスナノバブルスラリー手法についても紹介します。
受講対象・レベル
研磨プロセスに関わる（比較的若手の）技術者，研究者
セミナープログラム
・研磨プロセスの概要
・パッド
パッドアスペリティの測定・評価手法
パッドアスペリティと研磨レートの関係
注意事項
・コンディショナ
コンディショナの概要と測定・評価手法
砥粒配列の影響
砥粒形状の影響
コンディショナの作用機構
・スラリー
研磨レートの定式化
スラリー中における砥粒の流れ場解析
解析結果と研磨レートの関係
定式化に向けて
動的接触観察によるスラリー流れ場
砥粒接触位置の推定
砥粒の移動速度と接触点の動き
研磨レートとの対応関係
・見える化技術の応用事例
研磨メカニズム理解の終着点
学習プロセスを導入した知能研磨システムの構築
リアルタイム予測に向けて
・アシスト加工
オゾンガスナノバブルスラリー手法
遊星アシスト手法
超音波アシスト手法
・おわりに
質疑応答
セミナー講師
畝田 道雄 氏
防衛庁技術研究本部（現在の防衛装備庁）勤務を経て，金沢工業大学に着任．2013年から同大学教授．
2024年9月，岐阜大学教授に着任．同大学 工学部 関の刃物サステナブル技術革新拠点・拠点長も兼任．
岐阜大学では「研磨系」および「刃物系」に軸足を置きながらさまざまな産学連携教育・研究を展開．
専門
精密工学
研究の内容・キーワード
超精密加工，AI応用，匠の技の科学，刃物学
学協会における活動および役職
（公社）精密工学会
プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会 幹事
学術講演会オーガナイズドセッション「プラナリゼーションCMPとその応用」
セッションオーガナイザー
（公社）砥粒加工学会
研磨の基礎科学とイノベーション化専門委員会 委員長
（公社）日本工学教育協会
工学教育研究講演会委員会 幹事
セミナー受講料
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49,500円 ( E-Mail案内登録価格 46,970円 )
定価：本体45,000円＋税4,500円
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2名で49,500円 (2名ともE-Mail案内登録必須／１名あたり定価半額の24,750円)
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1名申込みの場合：受講料39,600円( E-Mail案内登録価格 37,840円)
定価：本体36,000円＋税3,600円
E-Mail案内登録価格：本体34,400円＋税3,440円
※１名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
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＜1名分無料適用条件＞
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※3名様以上のお申込みの場合、１名あたり定価半額で追加受講できます。
※請求書（PDFデータ）は、代表者にE-mailで送信いたします。
※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。
(申込みフォームの通信欄に「請求書１名ごと発行」と記入ください。)
※他の割引は併用できません。
受講について
ZoomによるLive配信 ►受講方法・接続確認（申込み前に必ずご確認ください）
配布資料
- PDFテキスト(印刷可・編集不可)
受講料
49,500円（税込）/人
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