大気圧プラズマによる表面改質と界面評価

セミナー趣旨

本セミナーでは，はじめに大気圧プラズマの発生方法と発生メカニズムの基礎について実例をあげわかりやすく解説します。 　次に講師が開発した大気圧プラズマ複合表面処理プロセスの基礎と産業応用例を，分野の最新動向を交えながらわかりやすく解説します。 　事例として，樹脂，ガラス，ポリマーなどのプラズマ表面処理を選択解説し，受講後，類似の開発を直ちに始めることができるような具体的情報を提供します。
本講座では、表面改質や表面処理を容易に行える大気圧プラズマ技術やエキシマVUV処理技術について、両者の違いを比較しながら、特徴、利点・欠点を紹介するとともに、産業界での応用活用事例や今後の使用技術について紹介する。 １．ドライプロセスによる表面改質・処理の原理 ２．改質できる材料の違い ３．改質深さの違い ４．生成官能基の違い ５．基材表面の脆性の違い ６．各種特性が密着性・接着性に与える影響 ７．表面改質・処理の産業応用 ８．まとめと今後の課題 【質疑応答】
プラズマインジケータは、プラズマ中のラジカルやイオンで変色する色材を用いた評価ツールです。装置内に置くだけで、プラズマの処理効果を可視化でき、簡便に工程のバラつきや面内分布を評価でき、生産性向上やトラブルシューティングに役立ちます。大気圧プラズマのラジカル種に特化した検知性能を有するので、プリント配線板製造／FPD製造／フィルム加工など、大面積の大気圧プラズマ処理のチェックに適しています。 本講座では、その基礎原理から、基本性能、さらに評価事例を解説します。さらに、筆記具技術を応用して新規開発した「PLAZMARK?大気圧用マーカータイプ」の特徴と応用例を紹介し、現場での活用につながる情報を提供します。

習得できる知識

業務へ活かすため、表面処理や表面改質の知見を得たいと考えている方 　　ドライプロセスによる表面改質の導入をご検討中の方

セミナープログラム

【10:30-12:00】
 １．大気圧プラズマの基礎と難接着フィルム・基材表面処理への応用展開 
  大阪公立大学　大学院工学研究科　機械系専攻　教授　工学博士　大久保 雅章 氏 

【習得できる知識】
・大気圧プラズマの発生法の基礎知識
・大気圧プラズマ表面処理の具体的方法
・大気圧プラズマ表面処理の産業応用例

【講座の趣旨】
　 本セミナーでは，はじめに大気圧プラズマの発生方法と発生メカニズムの基礎について実例をあげわかりやすく解説します。
　次に講師が開発した大気圧プラズマ複合表面処理プロセスの基礎と産業応用例を，分野の最新動向を交えながらわかりやすく解説します。
　事例として，樹脂，ガラス，ポリマーなどのプラズマ表面処理を選択解説し，受講後，類似の開発を直ちに始めることができるような具体的情報を提供します。

【大気圧プラズマ発生法の基礎知識】
１．大気圧プラズマの発生方法と発生メカニズムの基礎
　1.1 大気圧プラズマと発生法 1.2 プラズマとは？
　1.3 プラズマの種類 1.4 パルス放電方式
　1.5 無声放電方式（誘電体バリア放電方式）
　1.6 オゾン発生装置 1.7 電流電圧電力波形
　1.8 沿面放電方式 1.9 高周波プラズマ方式
　1.10 プラズマジェット電極
　1.11 コロナ放電プラズマ装置と電子回路
　1.12 その他各種プラズマジェットとプラズマ医療

【大気圧プラズマ表面処理の産業応用技術】
２．大気圧プラズマ複合プロセスによる フッ素樹脂フィルムの接着性向上技術
　2.1 フッ素樹脂の特性
　2.2 プラズマグラフト重合とは
　2.3 フッ素樹脂フィルム処理の実験装置と実験条件
　2.4 接触角による親水性評価
　2.5 はく離試験による接着性評価
　2.6 ESCA（XPS）による表面分析評価
　2.7 FT-IRによる表面分析評価
　2.8 電子顕微鏡による表面写真撮影
　2.9 従来技術（ナトリウム−アンモニア処理等）との比較
　2.10 テフロン表面へのめっき(プラズマ複合めっき処理)
　2.11 大面積処理装置の実現
　2.12 テフロン上めっきのフォトリソグラフィによる微細加工
　2.13 A4コロナ表面処理のデモンストレーション ＜試作サンプル紹介＞

３．大気圧プラズマジェットと医療への応用，殺菌技術
　3.1 医療への応用例
　3.2 プラズマ照射装置のその他応用（低温殺菌技術など）
　3.3 低温プラズマ殺菌の試験結果

４．大気圧プラズマ複合プロセスによるガラス表面 およびポリマー表面の恒久的処理技術
　4.1 自動車のフロントガラスやサイドミラーの水滴除去
　4.2 ガラス表面の改質装置
　4.3 プラズマのみを照射した場合（親水性向上）
　4.4 プラズマ･ケミカル複合プロセスによる恒久的はっ水処理
　4.5 恒久的表面処理のメカニズムについて
　4.6 フッ素樹脂フィルム上有機EL膜の発光特性【質疑応答】

【質疑応答】

【12:50-14:20】 
 ２．プラズマ/VUV照射による各種材料の表面処理・改質技術
  ウシオ電機(株)　光プロセスGBU　要素開発部　プロセス開発課　シニアエンジニア　有本 太郎 氏 　

【習得できる知識】
業務へ活かすため、表面処理や表面改質の知見を得たいと考えている方 　　ドライプロセスによる表面改質の導入をご検討中の方

【講座趣旨】
本講座では、表面改質や表面処理を容易に行える大気圧プラズマ技術やエキシマVUV処理技術について、両者の違いを比較しながら、特徴、利点・欠点を紹介するとともに、産業界での応用活用事例や今後の使用技術について紹介する。

１．ドライプロセスによる表面改質・処理の原理

２．改質できる材料の違い

３．改質深さの違い

４．生成官能基の違い

５．基材表面の脆性の違い

６．各種特性が密着性・接着性に与える影響

７．表面改質・処理の産業応用

８．まとめと今後の課題

【質疑応答】

【14:30-16:00】
  3．プラズマインジケータの紹介と大気圧プラズマ処理効果の評価
（株）サクラクレパス　中央研究所　玉木 万美子 氏

【講演趣旨】
プラズマインジケータは、プラズマ中のラジカルやイオンで変色する色材を用いた評価ツールです。装置内に置くだけで、プラズマの処理効果を可視化でき、簡便に工程のバラつきや面内分布を評価でき、生産性向上やトラブルシューティングに役立ちます。大気圧プラズマのラジカル種に特化した検知性能を有するので、プリント配線板製造／FPD製造／フィルム加工など、大面積の大気圧プラズマ処理のチェックに適しています。 本講座では、その基礎原理から、基本性能、さらに評価事例を解説します。さらに、筆記具技術を応用して新規開発した「PLAZMARK?大気圧用マーカータイプ」の特徴と応用例を紹介し、現場での活用につながる情報を提供します。

１．はじめに
　1.1．会社概要
　1.2．サクラクレパスの主な商品
　1.3．サクラクレパスの機能性色材
　1.4．プラズマインジケータのこれまでの研究経緯

２．プラズマインジケータの概要・基礎原理
　2.1．概要
　2.2．変色原理
　2.3．商品ラインナップ
　2.4．一般的なプラズマ処理効果との比較・相関
　2.5．プラズマインジケータでできること

３．プラズマインジケータ大気圧プラズマ用の基本性能
　3.1．概要
　3.2．基本性能

４．プラズマインジケータの大気圧プラズマ処理評価事例
　4.1．長尺型大気圧プラズマ装置の分布評価
　4.2．トーチ型大気圧プラズマ装置の分布評価

５．PLAZMARKR大気圧用マーカータイプのご紹介
　5.1．マーカータイプとは
　5.2．概要
　5.3．使用事例

６．まとめ　

【質疑応答】　

セミナー講師

１． 大阪公立大学　大学院工学研究科　機械系専攻　教授　工学博士　大久保 雅章 氏
２． ウシオ電機(株)　光プロセスGBU　要素開発部　プロセス開発課　シニアエンジニア　有本 太郎 氏
３． （株）サクラクレパス　中央研究所　玉木 万美子 氏

セミナー受講料

  1名につき 60,500円（消費税込、資料付）
〔1社2名以上同時申込の場合のみ1名につき55,000円〕

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