以下の類似セミナーへのお申込みをご検討ください。
★縦型GaN、酸化ガリウム、ダイヤモンドデバイスの実現に向けた技術動向、課題
セミナープログラム
<10:30〜12:00>
1.GaNパワーデバイスの開発動向と低オン抵抗 高耐圧化への展望
名古屋大学 加地 徹 氏
【講演ポイント】
GaNパワーデバイスはSiCと並び次世代のパワーデバイスとして期待されています。
横型GaNパワーデバイスはすでに実用化の時代に入り、応用範囲が拡大されつつあります。同時に、使い易さを目的にデバイスのパッケージングでの改良も進んでいます。
一方縦型パワーデバイスはまだ実用化には至っていません。しかし、SiC-MOSFETより低いオン抵抗が期待できるため、新たなシステムの可能性が開けることから、開発が進められています。
本講座では、横型と縦型のGaNパワーデバイスの現状と開発の課題、将来について展望します。。
【プログラム】
1.GaNの物性と強み
2.GaNパワーデバイスの構造と特徴
3.横型パワーデバイスの現状
3.1 メーカーとデバイスの特徴
3.2 他パワーデバイスとの比較
3.3 今後の展望
4.縦型パワーデバイスの現状と課題
4.1 要素技術の課題と現状
4.1.1 ゲート絶縁膜
4.1.2 イオン注入技術
4.1.3 トレンチ加工技術
4.1.4 GaN基板開発
4.2 縦型パワーデバイスの実際
4.2.1 終端構造
4.2.2 Junction Barrier Schottky (JBS) ダイオード
4.2.3 JFET
4.2.4 MOSFET
4.3 今後の展望
5.まとめ
【質疑応答】
<13:00〜14:30>
2.ベータ型酸化ガリウムデバイスの開発動向とダイオード、トランジスタ応用への展望
大阪公立大学 東脇 正高 氏
【講演ポイント】
酸化ガリウム (Ga2O3) は、次世代パワーデバイスおよび極限環境デバイス用途の新半導体材料として期待されるに足る、優れた材料物性を有する。
また、原理的に大口径かつ高品質な単結晶基板を、融液成長法により安価かつ簡便に作製することができるという、産業上の大きな魅力も合わせ持つ。 こういった特徴から、SiC, GaNに続く次世代パワーデバイス材料候補として現在注目を集めている。
本講演では、Ga2O3パワーデバイスの位置づけ・魅力、現在までのバルク・基板、エピタキシャル薄膜成長、デバイス(トランジスタ、ショットキーバリアダイオード)の研究開発状況、今後に向けた課題および展望などについて解説する。
【プログラム】
1.ベータ酸化ガリウム (β-Ga2O3) の物性
2.β-Ga2O3バルク融液成長技術
3.β-Ga2O3エピタキシャル薄膜成長技術
3.1 MBE成長
3.2 HVPE成長
3.3 MOCVD成長
4.β-Ga2O3トランジスタ
4.1 横型FET(高周波、極限環境デバイス)
4.2 横型FET(パワーデバイス
5.β-Ga2O3ショットキーバリアダイオード (SBD)
6.まとめ
【質疑応答】
<14:40〜16:10>
3.ダイヤモンドパワー半導体の現状と結晶成長、デバイス作製技術の研究動向
佐賀大学 嘉数 誠 氏
【講演ポイント】
ダイヤモンド半導体は、パワー半導体として30年以上期待されてきましたが、最近、ようやく、MOSFET技術、大口径ダイヤモンドウェハ技術が開発され、現実的になってきました。
講演では、分野外の方にもわかるように、できるだけ平易なところから、最近の進展や動向までわかりやすく解説いたします。
【プログラム】
1.ダイヤモンド半導体はなぜ注目されているか
1.1 ダイヤモンドの物性
1.2 ダイヤモンド半導体の応用の可能性
2.ダイヤモンドの結晶成長
2.1 高温高圧合成法
2.2 マイクロ波CVD法
2.3 ヘテロエピタキシャル法
3.ダイヤモンド半導体デバイス
3.1 ドーピング技術
3.2 ゲート絶縁膜
3.3 ダイヤモンドMOSFET作製
3.4 DC特性
3.5 パワー特性
3.6 スイッチング特性
3.7 信頼性試験(ストレス特性)
3.8 RF特性
4.今後の課題
【質疑応答】
セミナー講師
1. 名古屋大学 未来材料・システム研究所 未来エレクトロニクス集積研究センター 特任教授 工学博士 加地 徹 氏
2. 大阪公立大学 大学院工学研究科 電子物理系専攻 電子物理工学分野 教授 博士(工学) 東脇 正高 氏
3. 佐賀大学 大学院工学系研究科 教授 博士(工学) 嘉数 誠 氏
セミナー受講料
1名につき60,500円(消費税込・資料付き)
〔1社2名以上同時申込の場合1名につき55,000円(税込)〕
受講について
- 本講座はZoomを利用したLive配信セミナーです。セミナー会場での受講はできません。
- 下記リンクから視聴環境を確認の上、お申し込みください。
→ https://zoom.us/test - 開催日が近くなりましたら、視聴用のURLとパスワードをメールにてご連絡申し上げます。
セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。 - Zoomクライアントは最新版にアップデートして使用してください。
Webブラウザから視聴する場合は、Google Chrome、Firefox、Microsoft Edgeをご利用ください。 - パソコンの他にタブレット、スマートフォンでも視聴できます。
- セミナー資料はお申込み時にお知らせいただいた住所へお送りいたします。
お申込みが直前の場合には、開催日までに資料の到着が間に合わないことがあります。ご了承ください。 - 当日は講師への質問をすることができます。可能な範囲で個別質問にも対応いたします。
- 本講座で使用される資料や配信動画は著作物であり、
録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止いたします。 - 本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。
複数端末から同時に視聴することや複数人での視聴は禁止いたします。 - Zoomのグループにパスワードを設定しています。
部外者の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
万が一部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
関連セミナー
もっと見る関連教材
もっと見る関連記事
もっと見る-
原子散乱因子:金属材料基礎講座(その137)X線と電子の相互作用・散乱を1つの原子に対して見ます
◆ 原子散乱因子 X線と電子による相互作用や散乱を一つの原子に対して見てみます。原子の周りには原子番号の数だけ電子があります。もし入射X線が同じ方向... -
Lorentz因子、吸収因子と温度因子:金属材料基礎講座(その136)
【目次】 1. Lorentz因子 X線回折はブラッグの式によって起きますが、回折ピークの角度から少しずれた角度でもある程度の回折... -
多重度因子、かたより因子:金属材料基礎講座(その135)
【目次】 1. 多重度因子 回折が例えば(100)で起こる時、同じ面間隔を持つ(010)、(001)などの面も同様に回折を起こしま... -
構造因子 面心立方格子:金属材料基礎講座(その134)
◆ 構造因子 面心立方格子 面心立方格子の構造因子を見てみます。面心立方格子の場合、立方格子の頂点の000と各面の中心1/2,1/2...