＜半導体製造において必須：プラズマプロセッシング＞プラズマ生成の基礎・現象の理解と半導体微細加工・エッチングプロセスの基礎

セミナー趣旨

習得できる知識

プラズマの基礎、エッチングプロセス実現のためのプラズマ制御の基本指針

セミナープログラム

１　プラズマとは
　1.1 半導体プロセスにおけるプラズマの必要性
　1.2 化学活性種の低温生成
　1.3 イオンの活用

２　プラズマ中での荷電粒子のふるまい
　2.1 電子のエネルギー分布
　2.2 電界の遮蔽
　2.3 プラズマの振動とプラズマ周波数

３　プラズマ中における粒子間衝突（荷電粒子や化学活性種の生成）
　3.1 衝突の種類
　3.2 衝突断面積　
　3.3 平均値としての衝突頻度
　3.4 原子・分子のもつ内部エネルギー

４　プラズマと壁（荷電粒子や化学活性種の消失）
　4.1 荷電粒子の損失
　　　・シースの形成とボーム速度
　　　・壁への損失フラックス
　4.2 化学活性種の損失
　　　・壁へのランダムフラックス
　　　・表面損失の確率

５　プラズマの生成と損失のバランス
　5.1 荷電粒子の生成と消滅のバランス
　5.2 化学活性種の生成と消滅のバランス
　5.3 エネルギーのバランス

６　プラズマの作り方
　6.1 容量結合型プラズマ
　6.2 誘導結合型プラズマ
　6.3 マイクロ波プラズマ

７　反応性イオンエッチング
　7.1 反応性イオンエッチング（RIE）とは
　7.2 RIE表面において起こっている現象
　7.3 選択性の発現
　7.4 イオンの入射角度分布と高エネルギーイオン入射の必要性

８　容量結合型プラズマによるエッチングプロセス
　8.1 容量結合型プラズマの長所と短所
　8.2 プロセススループット向上のためのプラズマの高密度化
　8.3 容量結合型プラズマにおける自己バイアス発生とイオンのエネルギー分布形成
　8.4 なぜ二周波重畳プラズマなのか
　8.5 粒子の滞在時間と真空装置の高排気速度化の重要性
　8.6 電源高周波化にともなう課題

　　□質疑応答□

セミナー講師

名古屋大学工学研究科 電子工学専攻 教授　豊田 浩孝　氏
名古屋大学低温プラズマ科学研究センター 教授（兼務）
自然科学研究機構 核融合科学研究所 特任教授

【経歴】
1988年　名古屋大学工学研究科　博士課程後期課程修了　博士（工学）
1988年　名古屋大学工学部　助手
1992年　名古屋大学工学部　講師
2000年　名古屋大学工学研究科　助教授
2006年　名古屋大学プラズマナノ工学研究センター　助教授
2007年　名古屋大学工学研究科　教授

【研究内容】　
減圧プラズマから大気圧プラズマにわたり、さまざまなプロセスに最適化したプラズマ装置の設計・製作をおこない、プロセスプラズマ装置内の気相および表面における物理化学過程の解析を進める。また、核融合装置壁の制御に関する研究も行っている。
第5回プラズマエレクトロニクス賞
プラズマ核融合学会貢献賞

【専門】
プラズマエレクトロニクス　プラズマ理工学

セミナー受講料

※お申込みと同時にS&T会員登録をさせていただきます(E-mail案内登録とは異なります)。

55,000円( E-mail案内登録価格52,250円 )
E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料
2名で 55,000円 (2名ともE-mail案内登録必須／１名あたり定価半額27,500円)

【1名分無料適用条件】
※2名様ともE-mail案内登録が必須です。
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、１名あたり定価半額で追加受講できます。
※請求書（PDFデータ）は、代表者にE-mailで送信いたします。
※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。
　(申込みフォームの通信欄に「請求書１名ごと発行」と記入ください。)
※他の割引は併用できません。

※テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【Live配信/WEBセミナー受講限定】
１名申込みの場合：40,150円 ( E-Mail案内登録価格 38,170円 )
※WEBセミナーには「アーカイブとオンデマンド」が含まれます。
※1名様でお申込み場合、キャンペーン価格が自動適用になります。
※他の割引は併用できません。

受講について

Zoom配信の受講方法・接続確認

• 本セミナーはビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信となります。PCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
• 申込み受理の連絡メールに、視聴用URLに関する連絡事項を記載しております。
• 事前に「Zoom」のインストール(または、ブラウザから参加)可能か、接続可能か等をご確認ください。
• セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
• セミナー中、講師へのご質問が可能です。
• 以下のテストミーティングより接続とマイク/スピーカーの出力・入力を事前にご確認いただいたうえで、お申込みください。
  ≫ テストミーティングはこちら

配布資料

• 製本テキスト(開催前日着までを目安に発送)
  ※セミナー資料はお申し込み時のご住所へ発送させていただきます。
  ※開催まで4営業日～前日にお申込みの場合、セミナー資料の到着が開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。