スパッタリング薄膜の特性制御と品質・生産性トラブル対策

１．スパッタリング法の基礎
（１）薄膜技術の基本を知る
（２）スパッタリング法の特徴とその用途
（３）スパッタリング装置の構成
（４）スパッタリング工程の運用と管理方法
２．スパッタリング法の物理現象
（１）物理現象を把握することの重要性について
（２）スパッタリングの物理現象１（プラズマ放電）
（３）スパッタリングの物理現象２（スパッタリング）
（４）スパッタリングの物理現象３（組織形成）
（５）スパッタリングの現象と制御パラメータの関係
３．スパッタリング薄膜の評価・分析技術
（１）スパッタリング薄膜に求められる機能とは
（２）あらゆる機能の基礎となる、膜厚・形状の測定
（３）薄膜の性能を知るための、各種特性の測定・評価
（４）特性の発現機構を明らかにする、結晶構造評価
（５）不具合現象解明のための元素・状態分析
（６）信頼性評価のための機械的性質・密着性評価
４．スパッタリング薄膜の特性安定化
（１）特性実現と特性安定化という２つの課題
（２）特性と制御パラメータの間にあるものを理解する
（３）プロセスのばらつき・変動要因を理解する
（４）プロセスのリアルタイム分析方法、データ解析事例
（５）スパッタリング薄膜の特性安定化の重要ポイント
（６）【事例】特性値の悪化、バラツキ増大、トレードオフ
５．スパッタリング薄膜の密着性・信頼性改善
（１）薄膜の密着と剥離のメカニズム
（２）解析～原因追究の手順
（３）密着性改善・安定化のための具体的な手法
（４）薄膜の信頼性の問題と対策
（５）【事例】密着性不足、信頼性不足、密着性の悪化
６．スパッタリング薄膜の微小欠陥・外観異常対策
（１）スパッタリング薄膜の欠陥モード
（２）スパッタリング薄膜の外観検査とモニタリング
（３）ピンホール・付着異物の原因究明と対策
（４）変色・しわ・しみの原因究明と対策
（５）【事例】微小欠陥の増加、異物問題、外観不良
７．スパッタリング工程の生産性改善
（１）スパッタリング工程の原価を把握しよう
（２）スパッタリング工程のコスト改善手法
（３）スパッタリング工程の運用体制と稼働率
（４）スパッタリング工程の稼働率改善法
（５）メンテナンスを安全化しよう
（６）生産性改善アプローチの事例
８．スパッタリングの技術力向上
（１）スパッタリング薄膜の開発のポイント
（２）スパッタリング装置の導入・スケールアップ
（３）スパッタリングのシミュレーション技術
（４）スパッタリング工程を革新する新技術導入
質疑応答

 

主な受講対象者
薄膜技術に関わる技術者、技術チームリーダー
 

期待される効果
スパッタリングの原理を基礎から学ぶことができる
薄膜の現象の理解に基づいて、問題解決ができるようになる
薄膜の特性や性能をコントロールする具体的な方法を学べる
薄膜に関連する様々な解析技術を活用できるようになる