表面分析の基礎・原理と応用

セミナー趣旨

　先端技術の粋が集められた表面分析装置は、ナノテクを中心とした技術開発に欠かせない存在です。分析の対象（サンプル）は、半導体素子、医薬品、など様々であり、その使用目的もプロセス開発、品質管理、など多岐にわたっています。
　特に近年の表面分析装置はユーザーフレンドリーであり、比較的容易に相応の結果を得ることができます。その反面、いわゆるブラックボックス化が進んでいるため、表面分析の基礎や原理が蔑ろにされがちです。また、出力されたグラフや数値を確認しても、考察が不十分になる、他のデータとの不整合を見過ごす、等の問題が生じる可能性があります。
　そこで本セミナーでは、基礎事項として、サンプル表面に入射するX線、電子、イオンの特徴、これらと表面との相互作用、出力に至るまでの信号の流れ、等を分かり易く解説します。また、代表的な表面分析の原理や分析結果の例を紹介します。加えて、表面分析の応用として、マッピング、深さ分析について説明します。

受講対象・レベル

・表面分析に携わる予定または携わって間もない方（目安：1年以内）。
・既に表面分析の経験はあるが、今後、新しい表面分析に携わる予定の方（または新しい表面分析に携わって間もない方（目安：１年以内））。
・表面分析全般について理解したい方。
・各表面分析の特徴を把握したい方。
・表面分析装置の仕組みに関心がある方。

必要な予備知識

基礎から解説いたしますが、高校の数学、物理、化学の知識はあった方が望ましいです。

習得できる知識

・表面分析に用いるＸ線、電子、イオンの特徴とこれらと表面の相互作用を理解できる。
・ＳＥＭ-ＥＤＳ、ＡＦＭ、ＸＰＳ、ＳＩＭＳ、等、代表的な表面分析法の基礎・原理を理解できる。
・表面分析装置の一般的な仕組みを理解できる。
・各表面分析の相対的な位置づけを理解できる。
・表面分析の結果を適切に解釈できるようになる。

セミナープログラム

１．　表面分析の概要
　1-1．　はじめに
　1-2．　代表的なフロー
　　（入射→相互作用→認識）

２．　表面分析の構成要素
　2-1．　入射
　　（1）X線
　　（2）電子
　　（3）イオン
　2-2．　相互作用
　　（1）X線と表面の相互作用
　　　　…吸収、蛍光X線、回折X線（XRD）、等
　　（2）電子と表面の相互作用
　 　　　…吸収、特性X線、二次電子、等
　　（3）イオンと表面の相互作用
　　　　 …吸収、スパッタリング、ラザフォード後方散乱、等
　2-3．　認識
　　（1）検出器
　　（2）表示
　2-4．　その他
　　（1）真空
　　（2）ステージ

３．　表面形状観察
　3-1．　光学顕微鏡
　3-2．　SEM
　3-3．　レーザー顕微鏡
　3-4．　SPM

４．　表面元素等分析
　4-1．　XRF
　4-2．　XPS
　4-3．　AES
　4-4．　S-SIMS

５．　表面分析の応用
　5-1．　マッピング
　　（1）SEM-EDS
　　（2）EPMA
　　（3）AES
　　（4）S-SIMS
　　（5）XRF
　　（6）XPS
　5-2．　深さ分析
　　（1）D-DIMS
　　（2）スパッタリングの併用
　　　　…XPS, AES, S-SIMS
　　（3）RBS

６．　補足

７．　まとめ

キーワード：
表面分析, X線光電子分光法,走査電子顕微鏡,研修,講演,講座

セミナー講師

（同） I・R・D　CEO　博士（理学）　古田 啓　氏

【専門】
表面分析、表面処理、知財経営

【略歴】
30年以上にわたり、複数の民間企業において、非破壊検査、真空成膜、コーティング、等様々な研究開発・技術開発を担当。また、市場調査に基づいた新技術の開発及び上市、生産部門への技術移管、知財管理、技術支援、営業支援、等に従事。
2024年1月、技術、知財、経営を総合的に支援するコンサルティングファーム：合同会社I・R・D（URL https://i-reseandev.co.jp/）を設立、現在に至る。中小企業診断士、知的財産アナリスト（特許）、1級知的財産管理技能士（特許・ブランド専門業務）、第1種放射線取扱主任者。

セミナー受講料

55,000円（税込、資料付）
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