エアロゾルデポジション法の成膜原理とプロセス制御指針・応用展開
～粒子挙動やプロセス条件と膜特性の関係およびプロセス制御に向けた示唆～
受講可能な形式：【ライブ配信(見逃し配信付)】のみ
◆AD法における成膜原理、装置構成、ガス流量・ガス種や基板温度などのプロセス条件が成膜挙動や膜特性に与える影響、成膜粒子の速度測定手法とそれに基づく成膜挙動の解析、各種材料・基材への応用事例など、講師の研究成果をもとに解説します。
講演を通じて、プロセス設計・最適化に向けた示唆や知見を得ることができる内容です。
セミナー趣旨
本セミナーでは、AD法における装置の構成や成膜の特徴、原理について解説するとともに、本手法の応用展開について紹介します。
受講対象・レベル
様々な分野において、加熱などが制限された基材へのセラミックスコーティングの成膜が求められる方。
従来の成膜手法との違いや得られる膜の用途展開、将来展望などを把握されたい方。
習得できる知識
新規の成膜技術であるエアロゾルデポジション法の基礎（成膜の特徴や装置構成、成膜の原理）や応用展開についての事例などの知識が習得できる。
セミナープログラム
１．エアロゾルデポジション(AD)法による成膜の特徴
1.1 背景
1.2 AD装置の構成
1.3 成膜条件が膜の形成に与える影響
1.3.1 アルミナ粒子での成膜
1.3.2 ジルコニア(YSZ)粒子での成膜
1.3.3 ムライト粒子での成膜
1.3.4 金属粒子での成膜
２．エアロゾルデポジション(AD)法による成膜の原理
2.1 近年提唱されている成膜原理
2.2 シミュレーションによる成膜の理解
2.3 成膜粒子の速度測定手法
2.4 粒子速度および粒子のエネルギーに基づいた成膜の解析
2.5 AD法による結晶配向膜の形成
３．成膜体の特性と用途展開
3.1 粒子配向チタン酸ビスマスAD膜の物性
3.2 AD法による低発塵性部材
3.3 プラスチックへのAD法の適用
3.4 ADアルミナ硬質膜のローラへの適用
3.5 AD膜の環境遮蔽膜としての可能性
□質疑応答□
セミナー講師
専門：材料強度学、材料組織制御学、高温強度、表面処理・コーティング、集合組織
セミナー受講料
55,000円
1名分無料適用条件
2名様以降の受講者は、申込み前にE-Mail案内登録をお済ませください。
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、１名あたり定価半額で追加受講できます。
※請求書（クレジットカード決済の場合は領収書）は代表者にS&T会員マイページにて発行します（PDF）。
※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。
(申込みフォームの通信欄に「請求書１名ごと発行」と記入ください。)
※他の割引は併用できません。
| テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】 |
1名申込み： 受講料 44,000円(E-Mail案内登録価格 42,020円 )
定価：本体40,000円＋税4,000円
E-Mail案内登録価格：本体38,200円＋税3,820円
※１名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
※他の割引は併用できません。
主催者
開催場所
全国
備考
配布資料
PDFテキスト(印刷可・編集不可)
※開催2日前を目安に、弊社HPのマイページよりダウンロード可となります。
オンライン配信
ZoomによるLive配信 ►受講方法・接続確認（申込み前に必ずご確認ください）
アーカイブ配信 ►受講方法・視聴環境確認（申込み前に必ずご確認ください）
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