ダイヤモンド半導体の基礎・最新動向からデバイス応用、今後の展望まで

セミナー趣旨

　ダイヤモンドは、極めて高い電子及び正孔の移動度、熱伝導率、そして絶縁破壊電界を持つことから、省エネ・低炭素社会の実現に資する革新的なパワーデバイス材料として期待されています。
　本講演では、半導体材料としてのダイヤモンドの魅力、そしてダイヤモンド半導体研究の歴史について概説し、ダイヤモンドウェハ、ダイオード、トランジスタ応用に関する国内、海外の研究開発状況を踏まえ、課題および展望について、我々の研究成果を中心に解説します。

受講対象・レベル

・パワー半導体、ウルトラワイドバンドギャップ半導体の初学者
・本テーマ（ダイヤモンド半導体）にご関心のある方

習得できる知識

・ダイヤモンドの物性
・半導体の基礎
・ダイヤモンド結晶成長技術
・ダイヤモンド加工プロセス技術
・ダイヤモンド表面・界面構造制御技術
・ダイヤモンドデバイスの最新技術動向
など

セミナープログラム

１．はじめに
　1）ダイヤモンドの魅力
　2）ダイヤモンドの応用
　3）ダイヤモンドパワー半導体の必要性
　4）ダイヤモンド半導体研究の歴史

２．ダイヤモンドウェハ製造技術
　1）成長技術
　　a）高温高圧法
　　b）プラズマCVD法
　　c）熱フィラメントCVD法
　2）不純物ドーピング技術
　　a）ホウ素
　　b）リン
　　c）窒素
　3）ダイヤモンド加工技術
　　a）レーザーカット
　　b）スライス
　　c）研磨
　　d）平坦化

３．ダイヤモンドダイオード
　1）ショットキーバリアダイオード
　2）PN接合ダイオード
　3）ショットキーPNダイオード

４．ダイヤモンドトランジスタ
　1）BJT
　2）JFET
　3）MESFET
　4）MOSFET
　　a）水素終端型
　　b）Deep depletion型
　　c）反転層型

５．まとめと今後の展望

＜質疑応答＞

セミナー講師

セミナー受講料

【オンライン受講】：1名46,200円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき35,200円

＊学校法人割引：学生、教員のご参加は受講料50％割引。

主催者

開催場所

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