スパッタリングの基礎から膜品質の向上・トラブル対策～原理から最新動向まで学び現場での品質向上を目指す～

セミナー趣旨

  スパッタ技術は、再現性が良く、小さい基板から大きい基板まで均一性に優れ、低温においても密着性良く成膜出来る重要な技術であり、フイルム、ガラス、セラミック基板、最近では半導体用のウエハーなど多くの製品に使われている。スパッタ膜の機能、特性も高度化、多機能化したために、成膜トラブルも多くなっている。スパッタの原理を確認し、さらに最新カソード技術を紹介しながら、現場の品質向上について解説する。

受講対象・レベル

・スパッタ膜のコスト低減、機能向上などを求めている方
・本テーマに興味のある方なら、どなたでも

必要な予備知識

・高校卒業程度の化学、物理の知識
・この分野への興味がある方

習得できる知識

・スパッタの基礎知識、成膜パラメーターの最適化、重要度
・スパッタ膜のトラブル対処法
など

セミナープログラム

１．スパッタリングの理解とノウハウ
　1-1　スパッタの原理
　1-2　スパッタと蒸着の違い
　1-3　スパッタ装置
　1-4　成膜ファクターと膜の性質
２．スパッタリングでの重要な要素技術
　2-1　パルス技術
　2-2　マグネトロン技術
３．高速成膜技術
　3-1　反応性スパッタ
　3-2　ヒステリシス
　3-3　プラズマエミッションコントロール
４．最新カソード技術
　4-1　デュアルカソードの特徴
　4-2　ロータリーカソードの長所、短所
　4-3　AC放電
　4-4　低ダメージカソード
５．スパッタトラブル対策
　5-1　アーキングを減らすには
　5-2　アノード消失とは？
　5-3　膜厚均一化対策
　5-4　内部応力低減策
　5-5　密着性向上
６．最新トピックスおよびスパッタ応用製品
７．受講者からの質問回答及び相談

＊途中、お昼休みや小休憩を挟みます。

セミナー講師

 有限会社アーステック 代表取締役／名古屋大学 客員教授　 小島 啓安 氏

■ご略歴
キヤノン株式会社にて、半導体露光装置の光学膜開発を５年ほど従事、
その後旭硝子株式会社（現・AGC株式会社）にて、自動車用、建築用、電子基板用のスパッタによる薄膜開発を行う。
2003年に有限会社アーステック設立し、薄膜コンサルタントを開始。
2012年に名古屋大学にて学位取得、同年より名古屋大学客員教授を務める。

セミナー受講料

【オンライン受講（見逃し視聴なし）】：1名 50,600円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき39,600円

【オンライン受講（見逃し視聴あり）】：1名 56,100円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき45,100円

＊学校法人割引：学生、教員のご参加は受講料50％割引。

主催者

開催場所

受講について

• 配布資料は、印刷物を郵送で1部送付致します。お申込の際はお受け取り可能な住所をご記入ください。
  お申込みは4営業日前までを推奨します。
  それ以降でもお申込みはお受けしておりますが（開催1営業日前の12:00まで）、
  テキスト到着がセミナー後になる可能性がございます。
  資料未達の場合などを除き、資料の再配布はご対応できかねますのでご了承ください。
• 受講にあたってこちらをご確認の上、お申し込みください。
• Zoomを使用したオンラインセミナーです
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• 申込み時に（見逃し視聴有り）を選択された方は、見逃し視聴が可能です
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